이 애플리케이션의 일부 콘텐츠는 현재 사용할 수 없습니다.
이 상황이 계속되면 다음 주소로 문의하십시오피드백 및 연락
1. (WO2018203282) SCATTEROMETRY SYSTEM AND METHOD OF USING THE SAME
국제사무국에 기록된 최신 서지정보    정보 제출

공개번호: WO/2018/203282 국제출원번호: PCT/IB2018/053093
공개일: 08.11.2018 국제출원일: 03.05.2018
IPC:
G01N 21/47 (2006.01)
G SECTION G — 물리학
01
측정; 시험
N
재료의 화학적 또는 물리적 성질의 검출에 의한 재료의 조사 또는 분석
21
광학적 수단, 즉 적외선, 가시광선, 또는 자외선을 사용하는 것에 의한 재료의 조사 또는 분석
17
조사될 재료의 특성에 따라 입사광이 변조되는 시스템
47
산란, 즉 확산 반사
출원인:
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY [US/US]; 3M Center Post Office Box 33427 Saint Paul, MN 55133-3427, US
발명자:
ATKINSON, Matthew R. C.; US
대리인:
ALLEN, Gregory D.,; US
BLANK, Colene H.,; US
HARTS, Dean M. ,; US
LEVINSON, Eric D.,; US
MAKI, Eloise J.,; US
NOWAK, Sandra K.,; US
OLSON, Peter L.,; US
RHODES, Kevin H.; US
RINGSRED, Ted K.,; US
우선권 정보:
62/502,00105.05.2017US
발명의 명칭: (EN) SCATTEROMETRY SYSTEM AND METHOD OF USING THE SAME
(FR) SYSTÈME DE DIFFUSOMÉTRIE ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
요약서:
(EN) Microscatterometry system for generating an angularly resolved scattered light profile from the collected data.
(FR) L'invention concerne un système de microdiffusiométrie permettant de générer un profil de lumière diffusée à résolution angulaire à partir des données collectées.
front page image
지정국: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
아프리카지역 지식재산권기구(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
유라시아 특허청 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
유럽 특허청(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
공개언어: 영어 (EN)
출원언어: 영어 (EN)