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1. (WO2018179964) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
국제사무국에 기록된 최신 서지정보정보 제출

공개번호: WO/2018/179964 국제출원번호: PCT/JP2018/005296
공개일: 04.10.2018 국제출원일: 15.02.2018
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 85/30 (2006.01)
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
L
반도체 장치; 다른 곳에 속하지 않는 전기적 고체 장치
21
반도체 장치 또는 고체 장치 또는 그러한 부품의 제조 또는 처리에 특별히 적용되는 방법 또는 장비
67
제조 또는 처리중의 반도체 또는 전기 고체 장치 취급에 특별히 적용되는 장치; 반도체 또는 전기 고체 장치 혹은 구성부품의 제조 또는 처리중의 웨이퍼 취급에 특별히 적용되는 장치
673
특히 적합한 캐리어를 사용하는 것
B SECTION B — 처리조작; 운수
65
운반; 포장; 저장; 얇거나 단섬유 부재의 취급
D
물품 또는 재료의 보관 또는 수송용의 용기, 예. 장류(Bags), 나무통, 병, 상자, 캔류(Cans), 마분지 상자(Carton), 나무상자(Crate), 드럼, 호리병(Jars), 탱크, 호퍼(Hopper), 운송 콘테이너, 부속품, 폐개구(Closures) 또는 그 부착; 포장 요소; 포장체
85
특정 물품 또는 재료에 특히 적용되는 용기, 포장 요소 또는 포장체
30
충격 또는 압력 등의 피해에 특히 예민한 물품용
출원인:
信越ポリマー株式会社 SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区神田須田町一丁目9番地 9, Kandasuda-cho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010041, JP
발명자:
小川 統 OGAWA Osamu; JP
冨永 公徳 TOMINAGA Kiminori; JP
대리인:
坂本 智弘 SAKAMOTO Tomohiro; JP
우선권 정보:
2017-06181327.03.2017JP
발명의 명칭: (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
요약서:
(EN) The present invention provides a substrate storage container (1) provided with: a container body (2) that can house a substrate (W); and a gas supply member (50) that can supply a gas (G) from the outside of the container body (2) to an internal space, wherein the container body (2) is formed into a front-open box, and the gas supply member (50) is attached to a bottom surface (2f). The gas supply member (50) is configured such that function units (U; 3R, 3L, U1, U2, U3, U4) for changing the environment of the internal space to a different state are connected so as to be replaceable by being fitted. Thus, a substrate storage container that enables easy replacement of the function units for changing the environment of the internal space can be provided.
(FR) La présente invention concerne un récipient de stockage de substrat (1) comportant : un corps de récipient (2) qui peut loger un substrat (W); et un élément d'alimentation en gaz (50) qui peut fournir un gaz (G) depuis l'extérieur du corps de récipient vers un espace interne, le corps de récipient (2) étant formé dans une boîte à ouverture avant, et l'élément d'alimentation en gaz (50) étant fixé à une surface inférieure (2f). L'élément d'alimentation en gaz (50) est configuré de telle sorte que des unités fonctionnelles (U; 3R, 3L, U1, U2, U3, U4) pour changer l'environnement de l'espace interne à un état différent sont reliées de façon à être remplaçables en étant ajustées. Ainsi, un récipient de stockage de substrat qui permet un remplacement facile des unités fonctionnelles pour changer l'environnement de l'espace interne peut être fourni.
(JA) 本発明は、基板(W)を収納可能な容器本体(2)と、容器本体(2)の外部から内部空間に気体(G)を供給可能な給気部材(50)と、を備え、容器本体(2)をフロントオープンボックスに形成し、底面(2f)に給気部材(50)を取付けた基板収納容器(1)であって、給気部材(50)は、内部空間の環境を異なる状態に変更する機能ユニット(U;3R,3L,U1,U2,U3,U4)が、嵌合によって交換可能に接続されているものである。 これにより、内部空間の環境を変化させる機能ユニットを、簡単に交換することができる基板収納容器を提供することができる。
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지정국: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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공개언어: 일본어 (JA)
출원언어: 일본어 (JA)