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1. (WO2018179201) SUCTION APPARATUS, CARRIER APPARATUS, AND EL DEVICE MANUFACTURING APPARATUS
국제사무국에 기록된 최신 서지정보

공개번호: WO/2018/179201 국제출원번호: PCT/JP2017/013182
공개일: 04.10.2018 국제출원일: 30.03.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,B23Q 3/08 (2006.01)
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
L
반도체 장치; 다른 곳에 속하지 않는 전기적 고체 장치
21
반도체 장치 또는 고체 장치 또는 그러한 부품의 제조 또는 처리에 특별히 적용되는 방법 또는 장비
67
제조 또는 처리중의 반도체 또는 전기 고체 장치 취급에 특별히 적용되는 장치; 반도체 또는 전기 고체 장치 혹은 구성부품의 제조 또는 처리중의 웨이퍼 취급에 특별히 적용되는 장치
683
지지 또는 파지를 위한 것
B SECTION B — 처리조작; 운수
23
공작 기계; 달리 분류되지 않는 금속 가공
Q
공작 기계의 세부, 구성부분, 또는 부속 장치, 예. 모방 또는 제어 장치; 특정의 세부 또는 구성부분의 구조에 특징이 있는 공작 기계; 특정의 결과를 목적으로 하지 않는 금속 가공 기계의 조합
3
기계에서 정상적으로 분리할 수 있는 공작물 또는 공구의 유지, 지지 또는 위치 결정 장치
02
작업대, 공구 이송대 또는 유사물에 부착하기 위한 것
06
공작물 고정 수단
08
기계적 작동에 의하지 않는 것
출원인:
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai City, Osaka 5908522, JP
발명자:
間城 文彦 MASHIRO, Fumihiko; --
대리인:
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041, JP
우선권 정보:
발명의 명칭: (EN) SUCTION APPARATUS, CARRIER APPARATUS, AND EL DEVICE MANUFACTURING APPARATUS
(FR) APPAREIL D'ASPIRATION, APPAREIL SUPPORT ET APPAREIL DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTROLUMINESCENT
(JA) 吸着装置、運搬装置、ELデバイス製造装置
요약서:
(EN) Provided is a suction apparatus capable of suppressing deformation of a subject, said deformation being occurred due to suction. A suction apparatus (100) is provided with one or more suction pads, and sucks a lower surface film (10) via the suction pads. The suction pads are formed of a porous material having an average pore diameter of 1.0 μm or less.
(FR) L'invention concerne un appareil d'aspiration apte à supprimer la déformation d'un sujet, ladite déformation étant survenue en raison de l'aspiration. Un appareil d'aspiration (100) est pourvu d'une ou de plusieurs ventouses et aspire un film de surface inférieure (10) par l'intermédiaire des ventouses. Les ventouses sont formées d'un matériau poreux ayant un diamètre de pore moyen de 1,0 µm ou moins.
(JA) 吸着による対象物の変形を抑制できる吸着装置を提供する。 吸着装置(100)は、1つ以上の吸着パッドを備え、下面フィルム(10)を、前記吸着パッドを介して吸着する吸着装置であって、前記吸着パッドは、平均孔径が1.0μm以下である多孔質材料で形成されている。
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지정국: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
아프리카지역 지식재산권기구(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
유라시아 특허청(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
유럽 특허청(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
아프리카 지식재산권기구(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
공개언어: 일본어 (JA)
출원언어: 일본어 (JA)