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1. (WO2018164011) CRYOPUMP
국제사무국에 기록된 최신 서지정보    정보 제출

공개번호: WO/2018/164011 국제출원번호: PCT/JP2018/008132
공개일: 13.09.2018 국제출원일: 02.03.2018
IPC:
F04B 37/08 (2006.01) ,F04B 37/16 (2006.01)
F SECTION F — 기계공학; 조명; 가열; 무기; 폭파
04
액체용 용적형 기계; 액체 또는 압축성 액체용 펌프
B
액체용 용적형 기계; 펌프
37
그룹 F04B 25/00부터 F04B 35/00에 속하지 않거나 관계가 없는 적절한 특징을 갖는 압축성 유체에 특히 적합한 펌프
06
열수단에 의해 배출하기 위한 것
08
응축 또는 동결에 의한 것 예, 저온펌프
F SECTION F — 기계공학; 조명; 가열; 무기; 폭파
04
액체용 용적형 기계; 액체 또는 압축성 액체용 펌프
B
액체용 용적형 기계; 펌프
37
그룹 F04B 25/00부터 F04B 35/00에 속하지 않거나 관계가 없는 적절한 특징을 갖는 압축성 유체에 특히 적합한 펌프
10
특수용도의 것
14
높은 진공도를 얻기 위한 것
16
진공으로 하기 위한 장치
출원인:
住友重機械工業株式会社 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 東京都品川区大崎2丁目1番1号 1-1, Osaki 2-chome, Shinagawa-ku Tokyo 1416025, JP
발명자:
下村 誠 SHIMOMURA Makoto; JP
대리인:
森下 賢樹 MORISHITA Sakaki; JP
우선권 정보:
2017-04644210.03.2017JP
발명의 명칭: (EN) CRYOPUMP
(FR) POMPE CRYOGÉNIQUE
(JA) クライオポンプ
요약서:
(EN) The cryopump 10 is provided with: a freezer 16 comprising a room-temperature part, a first cooling stage, and a second cooling stage; and a cryopump housing 70 comprising a radiation shield thermally coupled to the first cooling stage and surrounding the second cooling stage without making contact with the second cooling stage, a shield housing part 74 which has an intake port 12 and a housing bottom surface 70a disposed on the opposite side from the intake port 12 and which surrounds the radiation shield without making contact with the radiation shield, and a freezer housing part 76 which connects the shield housing part 74 to the room-temperature part 26 of the freezer 16. A first heater 84 disposed on an outer surface of the freezer housing part 76, or a second heater disposed on the housing bottom surface 70a, or a heat transfer member thermally coupled to the first cooling stage and disposed in a gap between the freezer housing part 76 and the freezer 16 is provided so as to apply heat into the cryopump housing 70 from the outside.
(FR) L'invention concerne une pompe cryogénique (10) comportant : un élément de réfrigération (16) comprenant une partie à température ambiante, un premier étage de refroidissement et un second étage de refroidissement ; et un carter de pompe cryogénique (70) comprenant un écran anti-rayonnement accouplé thermiquement au premier étage de refroidissement et entourant le second étage de refroidissement sans entrer en contact avec le second étage de refroidissement, une partie de carter d'écran (74) qui comporte un orifice d'admission (12) et une surface inférieure de carter (70a) disposée sur le côté opposé à l'orifice d'admission (12) et qui entoure l'écran anti-rayonnement sans entrer en contact avec l'écran anti-rayonnement, et une partie de carter d'élément de réfrigération (76) qui relie la partie de carter d'écran (74) à la partie à température ambiante (26) de l'élément de réfrigération (16). Un premier élément chauffant (84) disposé sur une surface externe de la partie de carter d'élément de réfrigération (76), ou un second élément chauffant disposé sur la surface inférieure du carter (70a), ou un élément de transfert de chaleur accouplé thermiquement au premier étage de refroidissement et disposé dans un espace entre la partie de carter d'élément de réfrigération (76) et l'élément de réfrigération (16), est disposé de façon à amener de la chaleur dans le carter de pompe cryogénique (70) depuis l'extérieur.
(JA) クライオポンプ10は、室温部と第1冷却ステージと第2冷却ステージとを備える冷凍機16と、第1冷却ステージに熱的に結合され、第2冷却ステージと非接触に前記第2冷却ステージを囲む放射シールドと、吸気口12を有し、吸気口12と反対側にハウジング底面70aを備え、放射シールドと非接触に放射シールドを囲むシールド収容部74と、シールド収容部74を冷凍機16の室温部26に接続する冷凍機収容部76と、を備えるクライオポンプハウジング70と、を備える。クライオポンプハウジング70の外から中に熱を与えるよう冷凍機収容部76の外面に配置された第1ヒータ84またはハウジング底面70aに配置された第2ヒータ、または、第1冷却ステージに熱的に結合され、冷凍機収容部76と冷凍機16との隙間に配置された伝熱部材が設けられる。
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공개언어: 일본어 (JA)
출원언어: 일본어 (JA)