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1. (WO2018159126) SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE
국제사무국에 기록된 최신 서지정보    정보 제출

공개번호: WO/2018/159126 국제출원번호: PCT/JP2018/001143
공개일: 07.09.2018 국제출원일: 17.01.2018
IPC:
H01L 27/088 (2006.01) ,H01L 21/762 (2006.01) ,H01L 27/144 (2006.01) ,H01L 27/146 (2006.01)
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
L
반도체 장치; 다른 곳에 속하지 않는 전기적 고체 장치
27
하나의 공통기판내 또는 기판상에 형성된 복수의 반도체구성부품 또는 기타 고체구성부품으로 구성된 장치
02
정류, 발진, 증폭 또는 스위칭에 특별히 적용되는 반도체 구성부품을 포함하고 적어도 하나의 전위 장벽 또는 표면 장벽을 가지는 것; 적어도 하나의 전위 장벽 또는 표면 장벽을 가지는 집적화 된 수동 회로 소자를 포함하는 것
04
기판이 하나의 반도체본체로 되어 있는 것
08
1종류의 반도체구성부품만을 포함하는 것
085
전계효과구성부품만을 포함하는 것
088
구성부품이 절연게이트를 갖는 전계효과 트랜지스터로 되어 있는 것
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
L
반도체 장치; 다른 곳에 속하지 않는 전기적 고체 장치
21
반도체 장치 또는 고체 장치 또는 그러한 부품의 제조 또는 처리에 특별히 적용되는 방법 또는 장비
70
하나의 공통기판상 또는 기판내에 형성된 복수의 고체구성부품 또는 집적회로로 이루어진 장치 그에 대한 특정부품의 제조 또는 처리; 집적회로장치 또는 그에 대한 특정부품의 제조.
71
그룹 H01L21/70에 분류된 장치의 특정부품의 제조
76
구성부품사이의 분리영역 형성
762
유전체(dielectric)영역
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
L
반도체 장치; 다른 곳에 속하지 않는 전기적 고체 장치
27
하나의 공통기판내 또는 기판상에 형성된 복수의 반도체구성부품 또는 기타 고체구성부품으로 구성된 장치
14
적외선, 가시광, 단파장의 전자파 또는 입자선 복사에 감응하는 반도체구성부품으로서 이들의 복사선 에너지를 전기적 에너지로 변환하거나 이들의 복사선에 의해 전기적 에너지를 제어하는 것에 특별히 사용되는 것
144
복사선에 의하여 제어되는 장치
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
L
반도체 장치; 다른 곳에 속하지 않는 전기적 고체 장치
27
하나의 공통기판내 또는 기판상에 형성된 복수의 반도체구성부품 또는 기타 고체구성부품으로 구성된 장치
14
적외선, 가시광, 단파장의 전자파 또는 입자선 복사에 감응하는 반도체구성부품으로서 이들의 복사선 에너지를 전기적 에너지로 변환하거나 이들의 복사선에 의해 전기적 에너지를 제어하는 것에 특별히 사용되는 것
144
복사선에 의하여 제어되는 장치
146
고체촬상장치(이미지 센서) 구조
출원인:
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 SONY SEMICONDUCTOR SOLUTIONS CORPORATION [JP/JP]; 神奈川県厚木市旭町四丁目14番1号 4-14-1, Asahicho, Atsugi-shi, Kanagawa 2430014, JP
발명자:
牛膓 哲雄 GOCHO, Tetsuo; JP
대리인:
特許業務法人つばさ国際特許事務所 TSUBASA PATENT PROFESSIONAL CORPORATION; 東京都新宿区新宿1丁目15番9号さわだビル3階 3F, Sawada Building, 15-9, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022, JP
우선권 정보:
2017-04070203.03.2017JP
발명의 명칭: (EN) SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE
(FR) DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS ET DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
(JA) 半導体装置および半導体装置の製造方法並びに電子機器
요약서:
(EN) A semiconductor device according to an embodiment of the present invention comprises: an SOI substrate on which a silicon substrate layer, a first insulating layer, and a semiconductor layer are laminated in the stated order; a first transistor provided on the semiconductor layer; a second transistor having a higher withstand voltage than does the first transistor, the second transistor being provided on the silicon substrate layer; and an element isolation film provided between the first transistor and the second transistor, the element isolation film being configured from a second insulating layer that is buried in an opening that passes through the semiconductor layer and the first insulating layer and reaches the inside of the silicon substrate layer, and a portion of the second insulating layer constituting a gate insulation film of the second transistor.
(FR) La présente invention concerne, selon un mode de réalisation, un dispositif à semi-conducteurs comprenant : un substrat SOI sur lequel une couche de substrat de silicium, une première couche isolante et une couche semi-conductrice sont stratifiées dans l'ordre indiqué ; un premier transistor disposé sur la couche semi-conductrice ; un second transistor ayant une tension de maintien supérieure à celle du premier transistor, le second transistor étant disposé sur la couche de substrat de silicium ; et un film d'isolation d'élément disposé entre le premier transistor et le second transistor, le film d'isolation d'élément étant configuré à partir d'une seconde couche isolante qui est enfouie dans une ouverture qui passe à travers la couche semi-conductrice et la première couche isolante et atteint l'intérieur de la couche de substrat de silicium, et une partie de la seconde couche isolante constituant un film d'isolation de grille du second transistor.
(JA) 本開示の一実施形態の半導体装置は、シリコン基板層、第1の絶縁層、および半導体層がこの順に積層されたSOI基板と、半導体層上に設けられた第1のトランジスタと、シリコン基板層上に設けられ、第1のトランジスタよりも高耐圧な第2のトランジスタと、第1のトランジスタと第2のトランジスタとの間に設けられた素子分離膜とを備え、素子分離膜は、半導体層および第1の絶縁層を貫通してシリコン基板層内に達する開口に埋設された第2の絶縁層によって構成され、第2の絶縁層の一部は、第2のトランジスタのゲート絶縁膜を構成している。
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공개언어: 일본어 (JA)
출원언어: 일본어 (JA)