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1. (WO2018131144) SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
국제사무국에 기록된 최신 서지정보

공개번호: WO/2018/131144 국제출원번호: PCT/JP2017/001079
공개일: 19.07.2018 국제출원일: 13.01.2017
IPC:
H01L 21/288 (2006.01)
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
L
반도체 장치; 다른 곳에 속하지 않는 전기적 고체 장치
21
반도체 장치 또는 고체 장치 또는 그러한 부품의 제조 또는 처리에 특별히 적용되는 방법 또는 장비
02
반도체장치 또는 그 부품의 제조나 처리
04
적어도 하나의 전위장벽 또는 표면장벽(예. PN접합, 공핍층, 캐리어 밀집층)을 갖는 장치
18
불순물(예, 도우핑 물질)을 포함하고 있거나 포함하지 않는 주기율표 제4족의 원소 또는 Ⅲ-Ⅴ족 화합물로 구성된 반도체본체를 갖는 장치
28
21/20~ 21/268에 분류되지 않은 방법이나 장비를 이용한 반도체본체상의 전극 제조
283
전극용의 도전물질 또는 절연물질의 증착
288
액체로부터의 증착, 예. 전해액으로부터의 증착
출원인:
三菱電機株式会社 MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号 7-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008310, JP
발명자:
中田 洋輔 NAKATA, Yosuke; JP
赤尾 真哉 AKAO, Shinya; JP
原田 健司 HARADA, Kenji; JP
대리인:
高田 守 TAKADA, Mamoru; JP
高橋 英樹 TAKAHASHI, Hideki; JP
우선권 정보:
발명의 명칭: (EN) SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 半導体装置及びその製造方法
요약서:
(EN) A semiconductor substrate (1) has a front surface, and a rear surface on the reverse side of the front surface. Gate wiring (2) and first and second front surface electrodes (3, 4) are formed on the front surface of the semiconductor substrate (1). The first and second front surface electrodes (3, 4) are separated from each other by means of the gate wiring (2). An insulating film (7) is covering the gate wiring (2). Over the gate wiring (2), an electrode layer (8) is formed on the insulating film (7) and the first and second front surface electrodes (3, 4). A rear surface electrode (9) is formed on the rear surface of the semiconductor substrate (1). A first plated electrode (10) is formed on the electrode layer (8). A second plated electrode (11) is formed on the rear surface electrode (9).
(FR) Un substrat semi-conducteur (1) a une surface avant, et une surface arrière sur le côté arrière de la surface avant. Un câblage de grille (2) et des première et seconde électrodes de surface avant (3, 4) sont formés sur la surface avant du substrat semi-conducteur (1). Les première et seconde électrodes de surface avant (3, 4) sont séparées l'une de l'autre au moyen du câblage de grille (2). Un film isolant (7) recouvre le câblage de grille (2). Sur le câblage de grille (2), une couche d'électrode (8) est formée sur le film isolant (7) et les première et seconde électrodes de surface avant (3, 4). Une électrode de surface arrière (9) est formée sur la surface arrière du substrat semi-conducteur (1). Une première électrode plaquée (10) est formée sur la couche d'électrode (8). Une seconde électrode plaquée (11) est formée sur l'électrode de surface arrière (9).
(JA) 半導体基板(1)は互いに対向する表面及び裏面を持つ。ゲート配線(2)及び第1及び第2の表面電極(3,4)が半導体基板(1)の表面に形成されている。第1及び第2の表面電極(3,4)はゲート配線(2)により互いに分割されている。絶縁膜(7)がゲート配線(2)を覆っている。電極層(8)がゲート配線(2)を跨いで絶縁膜(7)及び第1及び第2の表面電極(3,4)の上に形成されている。裏面電極(9)が半導体基板(1)の裏面に形成されている。第1のめっき電極(10)が電極層(8)の上に形成されている。第2のめっき電極(11)が裏面電極(9)の上に形成されている。
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공개언어: 일본어 (JA)
출원언어: 일본어 (JA)