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1. (WO2018102470) METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL IMAGING ATOMIC FORCE MICROSCOPE INFRARED SPECTROSCOPY
국제사무국에 기록된 최신 서지정보    정보 제출

공개번호: WO/2018/102470 국제출원번호: PCT/US2017/063810
공개일: 07.06.2018 국제출원일: 29.11.2017
IPC:
G01N 21/47 (2006.01) ,B82Y 35/00 (2011.01)
G SECTION G — 물리학
01
측정; 시험
N
재료의 화학적 또는 물리적 성질의 검출에 의한 재료의 조사 또는 분석
21
광학적 수단, 즉 적외선, 가시광선, 또는 자외선을 사용하는 것에 의한 재료의 조사 또는 분석
17
조사될 재료의 특성에 따라 입사광이 변조되는 시스템
47
산란, 즉 확산 반사
B SECTION B — 처리조작; 운수
82
나노기술
Y
나노 구조의 특별한 사용이나 적용; 나노 구조의 측정이나 분석; 나노 구조의 제조나 처리
35
나노 구조의 측정이나 분석을 위한 수단 또는 장치
출원인:
ANASYS INSTRUMENTS CORPORATION [US/US]; 325 Chapala Street Santa Barbara, CA 93101, US
발명자:
PRATER, Craig; US
KJOLLER, Kevin; US
SHETTY, Roshan; US
대리인:
PEDERSEN, Brad, D.; US
CHADWICK, Eric, H.; US
BIASCO, Tye; US
BRUZZONE, Daniel, L.; US
BURGESS, Daidre, L.; US
우선권 정보:
62/427,67129.11.2016US
발명의 명칭: (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL IMAGING ATOMIC FORCE MICROSCOPE INFRARED SPECTROSCOPY
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE SPECTROSCOPIE INFRAROUGE POUR MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE EN IMAGERIE CHIMIQUE
요약서:
(EN) Methods and apparatus for performing spectroscopy from the scale of nanometers to millimeters and imaging techniques including atomic force microscopy, infrared spectroscopy, confocal microscopy, Raman spectroscopy and mass spectrometry. For infrared spectroscopy, a sample is illuminated with infrared light and the resulting sample distortion is read out with either a focused UV/visible light beam and/or AFM tip. The combination of both techniques provides a rapid and large area survey scan with the UV /visible light and a high resolution measurement with the AFM tip. The methods and apparatus also include the ability to analyze light reflected/scattered from the sample via a Raman spectrometer for complementary analysis by Raman spectroscopy.
(FR) L'invention concerne des procédés et un appareil pour effectuer une spectroscopie à une échelle allant des nanomètres aux millimètres et des techniques d'imagerie comprenant la microscopie à force atomique, la spectroscopie infrarouge, la microscopie confocale, la spectroscopie Raman et la spectrométrie de masse. Pour la spectroscopie infrarouge, un échantillon est éclairé à l'aide d'une lumière infrarouge et la distorsion d'échantillon obtenue est lue soit avec un faisceau de lumière UV/visible focalisé, et/ou une pointe de sonde AFM. La combinaison des deux techniques permet un balayage d'observation rapide et d'une grande surface avec la lumière UV/visible et une mesure de résolution élevée avec la pointe de sonde AFM. Les procédés et l'appareil selon l'invention englobent également la capacité d'analyser la lumière réfléchie/diffusée à partir de l'échantillon par l'intermédiaire d'un spectromètre Raman pour une analyse complémentaire par spectroscopie Raman.
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공개언어: 영어 (EN)
출원언어: 영어 (EN)