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1. (WO2018096091) MEASURING DEVICE AND METHOD FOR OPERATING THE MEASURING DEVICE
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Patentansprüche

1 . Verfahren zum Betreiben eines Messgeräts (1 ), welches zur Messung einer Messeigenschaft (C) einer Messkomponente (2) in einem Messgas (3) geeignet ist, wobei das Messgas (3) in einer Messkammer (4) photoakustisch angeregt wird, der dabei erzeugte Schall mit einem Schallaufnehmer (5) aufgenommen wird und das aufgenommene Signal in einer Auswerteeinheit (6) zur Ermittlung der Messeigenschaft (C) ausgewertet wird, wobei die Auswerteeinheit (6) die ermittelte Messeigenschaft (C) mittels einer Korrekturfunktion korrigiert, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittlung zumindest eines Parameters der Korrekturfunktion zumindest einmal ein Ermittlungsdruck (PE) in der Messkammer (4) eingestellt wird, der Absolutdruck (P) in der Messkammer (4) bei diesem Ermittlungsdruck (PE) ermittelt wird, bei diesem Absolutdruck (P) zumindest eine Ermittlungsmessung bei einer Ermittlungsanregung durchgeführt wird, und der zumindest eine Parameter anhand des Absolutdrucks (P) und des Ermittlungsmessergebnisses (CE) der Ermittlungsmessung ermittelt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Ermittlungsdruck (PE) als ein Relativdruck zum Umgebungsdruck (Pu) definiert ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass als Ermittlungsanregung eine in der Anregungsstärke reproduzierbare und von der Messkomponente unabhängige akustische Ermittlungsschwingung angeregt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Ermittlungsanregung akustisch mittels eines Schallgebers (10) erzeugt wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Ermittlungsanregung photoakustisch erzeugt wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Ermittlungsanregung mittels eines in einem Strahlengang einer zur Erzeugung des photoakustischen Effekts verwendeten elektromagnetischen Anregestrahlung (7) angeordneten Absorbers (8) erzeugt wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Ermittlungsdruck (PE) in der Messkammer (4) von einer Pumpvorrichtung, vorzugsweise von der im Messgerät (1 ) vorhandenen Messgaspumpe (9), erzeugt wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Parameter der Korrekturfunktion ein Koeffizient (Kn) einer Polynomfunktion erster, zweiter oder höherer Ordnung ist.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Polynomfunktion den Term

o + K-i * ((P - Po) / Po) + K2 * ((P - Po) / Pof

enthält, wobei P der Absolutdruck in der Messkammer ist, P0 der Referenzdruck bei Normbedingungen, vorzugsweise 1013 mbar, ist, und K0, K-i und K2 Koeffizienten der Polynomfunktion sind.

10. Messgerät (1 ) zur Messung einer Messeigenschaft (C) einer Messkomponente (2) in einem Messgas (3), wobei das Messgerät (1 ) eine Messkammer (4), zumindest eine Anregevorrichtung (1 1 ) zur photoakustischen Anregung des Messgases (3) in der Messkammer (4), einen Schallaufnehmer (5) und eine Auswerteeinheit (6) aufweist, wobei mit der Auswerteeinheit (6) das vom Schallaufnehmer (5) aufgenommene Signal zur Ermittlung einer Messeigenschaft (C) auswertbar und die Messeigenschaft (C) mittels einer Korrekturfunktion korrigierbar ist, und wobei an der Messkammer (4) eine Druckmesseinheit (13) zur Ermittlung des Absolutdrucks (P) in der Messkammer (4) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Messgerät eine Ermittlungseinheit (12) aufweist, mit der zur Ermittlung von zumindest einem Parameter der Korrekturfunktion ein Ermittlungsdruck (PE) in der Messkammer (4) einstellbar, der Absolutdruck (P) bei diesem Ermittlungsdruck (PE) ermittelbar und bei diesem Absolutdruck (P) zumindest eine Ermittlungsmessung bei einer Ermittlungsanregung durchführbar ist, wobei zumindest ein Parameter der Korrekturfunktion aus zumindest dem gemessenen Absolutdruck (P) und dem Ermittlungsmessergebnis (CE) der Ermittlungsmessung mit der Ermittlungseinheit (12) ermittelbar ist.

1 1 . Messgerät (1 ) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass an der Messkammer (4) ein Schallgeber (10) zur akustischen Ermittlungsanregung angeordnet ist.

12. Messgerät (1 ) nach Anspruch 10 oder 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittlung des zumindest einen Parameters der Korrekturfunktion ein Absorber (8) in einem Strahlengang der zur Erzeugung des photoakustischen Effekts verwendeten elektromagnetischen Anregestrahlung (7) angeordnet ist.

13. Messgerät (1 ) nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Messgerät (1 ) eine Pumpvorrichtung, vorzugsweise eine Messgaspumpe (9) aufweist, mittels der der Ermittlungsdruck in der Messkammer (4) einstellbar ist.

14. Messgerät (1 ) nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Ermittlungseinheit (12) dazu eingerichtet ist, den zumindest einen Parameter der Korrekturfunktion vor jedem Prüflauf erneut zu ermitteln.