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1. (WO2018059612) ELECTRODE ARRANGEMENT FOR FORMING A DIELECTRIC BARRIER PLASMA DISCHARGE
국제사무국에 기록된 최신 서지정보    정보 제출

공개번호: WO/2018/059612 국제출원번호: PCT/DE2017/100612
공개일: 05.04.2018 국제출원일: 21.07.2017
국제예비심사 청구일: 15.11.2017
IPC:
H05H 1/24 (2006.01) ,H05H 1/46 (2006.01)
H SECTION H — 전기
05
달리 분류되지 않는 전기기술
H
플라스마(Plasma) 기술; 가속된 하전입자 또는 중성자의 발생; 중성분자 또는 전자빔의 발생 또는 가속
1
플라스마의 생성; 플라스마 취급
24
플라스마의 발생
H SECTION H — 전기
05
달리 분류되지 않는 전기기술
H
플라스마(Plasma) 기술; 가속된 하전입자 또는 중성자의 발생; 중성분자 또는 전자빔의 발생 또는 가속
1
플라스마의 생성; 플라스마 취급
24
플라스마의 발생
46
전자계를 사용하는 것, 예. 고주파 또는 마이크로파 에너지
출원인:
CINOGY GMBH [DE/DE]; Max-Näder-Strasse 15 37115 Duderstadt, DE
발명자:
WANDKE, Dirk; DE
TRUTWIG, Leonhard; DE
HAHNL, Mirko; DE
STORCK, Karl-Otto; DE
대리인:
GRAMM, LINS & PARTNER PATENT- UND RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Theodor-Heuss-Straße 1 38122 Braunschweig, DE
우선권 정보:
10 2016 118 569.830.09.2016DE
발명의 명칭: (EN) ELECTRODE ARRANGEMENT FOR FORMING A DIELECTRIC BARRIER PLASMA DISCHARGE
(FR) ARRANGEMENT D'ÉLECTRODES POUR FORMER UNE DÉCHARGE DE PLASMA À BARRIÈRE DIÉLECTRIQUE
(DE) ELEKTRODENANORDNUNG ZUR AUSBILDUNG EINER DIELEKTRISCH BEHINDERTEN PLASMAENTLADUNG
요약서:
(EN) The invention relates to an electrode arrangement for forming a dielectric barrier plasma discharge between an electrode (1) supplied with an AC high voltage by a control device (20) and a treatment surface (21) of an electrically conductive body (22), said arrangement functioning as a ground electrode, wherein a dielectric material (8) completely covers the electrode (1) up to the treatment surface (21) and forms a contact side for the surface (21). The electrode arrangement permits effective and homogeneous formation of the plasma (23), in particular for large treatment surfaces (21), because the electrode (1) consists of at least two electrode portions (2, 3) arranged next to one another at the same distance (6) from the contact side and insulated from one another by the dielectric material (8), and because adjacent electrode portions are supplied by the control device with compensating partial AC voltages which are mirror-inverted in terms of the waveform and the voltage level.
(FR) L'invention concerne un arrangement d'électrodes destiné à former une décharge de plasma à barrière diélectrique entre une électrode (1) chargée avec une haute tension alternative par un dispositif de commande (20) et une surface (21) à traiter d'un corps (22) électriquement conducteur qui fait office d'électrode de masse. Un diélectrique (8) recouvre entièrement l'électrode (1) en direction de la surface (21) à traiter et forme un côté d'appui pour la surface (21). L'arrangement d'électrodes selon l'invention permet, notamment en présence de grandes surfaces (21) à traiter, une formation efficace et homogène du plasma (23) en ce que l'électrode (1) se compose d'au moins deux électrode partielles (2, 3) disposées l'une à côté de l'autre avec un même écart (6) par rapport au côté d'appui et isolées l'une de l'autre par le diélectrique (8), et en ce que les électrodes partielles voisines sont alimentées par le dispositif de commande avec des tensions alternatives dont la forme d'onde et l'amplitude de tension sont diamétralement opposées et qui se compensent mutuellement.
(DE) Eine Elektrodenanordnung zur Ausbildung einer dielektrisch behinderten Plasmaentladung zwischen einer von einer Steuereinrichtung (20) mit einer Wechselhochspannung gespeicherten Elektrode (1) und einer zu behandelnden Oberfläche (21) eines elektrisch leitfähigen Körpers (22), die als Masseelektrode dient, wobei ein Dielektrikum (8) die Elektrode (1) zur zu behandelnden Oberfläche (21) hin vollständig abdeckt und eine Anlageseite für die Oberfläche (21) bildet, ermöglicht insbesondere bei großen zu behandelnden Oberflächen (21) eine effektive und homogene Ausbildung des Plasmas (23) dadurch, dass die Elektrode (1) aus wenigstens zwei im gleichen Abstand (6) zur Anlageseite nebeneinander angeordneten und durch das Dielektrikum (8) voneinander isolierten Teilelektroden (2, 3) besteht und dass benachbarte Teilelektroden von der Steuereinrichtung mit bezüglich der Wellenform und der Spannungshöhe gegengleichen, sich kompensierenden Teil-Wechselspannungen gespeist werden.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
공개언어: 독일어 (DE)
출원언어: 독일어 (DE)