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1. (WO2017002506) IMPRINT MATERIAL
국제사무국에 기록된 최신 서지정보

공개번호: WO/2017/002506 국제출원번호: PCT/JP2016/066010
공개일: 05.01.2017 국제출원일: 31.05.2016
IPC:
H01L 21/027 (2006.01) ,B29C 59/02 (2006.01) ,C08F 2/44 (2006.01) ,C08F 220/26 (2006.01) ,C08F 283/12 (2006.01) ,C08F 290/06 (2006.01)
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
L
반도체 장치; 다른 곳에 속하지 않는 전기적 고체 장치
21
반도체 장치 또는 고체 장치 또는 그러한 부품의 제조 또는 처리에 특별히 적용되는 방법 또는 장비
02
반도체장치 또는 그 부품의 제조나 처리
027
후속 포토리소그래픽(photolithographic) 공정을 위한 반도체본체상의 마스크 제조, 그룹 21/18 또는 21/34에 분류된 것은 제외
B SECTION B — 처리조작; 운수
29
플라스틱의 가공; 가소 상태 물질의 가공 일반
C
플라스틱의 성형 또는 접합; 가소 상태에 있는 물질의 성형 일반; 성형품의 후처리, 예. 수선
59
표면 성형, 예. 엠보싱 그것을 위한 장치
02
기계적인 수단에 의한, 예. 프레스
C SECTION C — 화학; 야금
08
유기 고분자 화합물; 그 제조 또는 화학적 처리; 그에 따른 조성물
F
탄소-탄소 불포화 결합만이 관여하는 반응으로 얻어지는 고분자 화합물
2
중합 방법
44
배합 성분의 존재하에서 중합. 예. 가소제, 염료, 충전제
C SECTION C — 화학; 야금
08
유기 고분자 화합물; 그 제조 또는 화학적 처리; 그에 따른 조성물
F
탄소-탄소 불포화 결합만이 관여하는 반응으로 얻어지는 고분자 화합물
220
하나의 탄소-탄소 이중 결합을 함유하는 불포화 지방족기를 갖고 그것의 적어도 하나가 카르복실기 또는 그의 염, 무수물, 에스테르, 아미드, 이미드 또는 니트릴로 종결되어 있는 화합물의 공중합체
02
.10개 미만의 탄소 원자를 함유하는 모노카르복실산; 그의 유도체
10
에스테르
26
카르복시 산소와 그 외의 산소를 함유하는 에스테르
C SECTION C — 화학; 야금
08
유기 고분자 화합물; 그 제조 또는 화학적 처리; 그에 따른 조성물
F
탄소-탄소 불포화 결합만이 관여하는 반응으로 얻어지는 고분자 화합물
283
서브클래스 C08G로 분류되는 고분자에 단량체를 중합시킴으로써 얻어지는 고분자 화합물
12
.폴리실록산에 중합하는 것
C SECTION C — 화학; 야금
08
유기 고분자 화합물; 그 제조 또는 화학적 처리; 그에 따른 조성물
F
탄소-탄소 불포화 결합만이 관여하는 반응으로 얻어지는 고분자 화합물
290
불포화 지방족 말단 또는 곁기의 도입에 의하여 변성된 고분자에 단량체를 중합시킴에 의하여 얻어지는 고분자 화합물
02
.불포화 말단의 도입에 의하여 변성된 고분자에 중합하는 것
06
서브클래스 C08G에 분류되는 고분자
출원인:
日産化学工業株式会社 NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区神田錦町三丁目7番地1 7-1, Kanda-Nishiki-cho 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010054, JP
발명자:
小林 淳平 KOBAYASHI, Junpei; JP
加藤 拓 KATO, Taku; JP
首藤 圭介 SHUTO, Keisuke; JP
鈴木 正睦 SUZUKI, Masayoshi; JP
대리인:
特許業務法人はなぶさ特許商標事務所 HANABUSA PATENT & TRADEMARK OFFICE; 東京都千代田区神田駿河台3丁目2番地 新御茶ノ水アーバントリニティ Shin-Ochanomizu Urban Trinity, 2, Kandasurugadai 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010062, JP
우선권 정보:
2015-12986129.06.2015JP
발명의 명칭: (EN) IMPRINT MATERIAL
(FR) MATÉRIAU D'EMPREINTE
(JA) インプリント材料
요약서:
(EN) [Problem] To provide a novel imprint material. [Solution] An imprint material which contains the component (A), component (B), component (C) and component (D) described below. (A) a compound represented by formula (1) (B) a compound represented by formula (2) (C) a compound represented by formula (3) (D) a photopolymerization initiator (In the formulae, each R1 independently represents a hydrogen atom or a methyl group; R2 represents a hydrocarbon group having 1-5 carbon atoms, which may have a hydroxy group as a substituent; m represents 2 or 3; X represents a divalent linking group having an ethylene oxide unit and/or a propylene oxide unit; R3 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1-3 carbon atoms; n represents 1 or 2; in cases where n is 1, R4 represents an alkyl group having 1-12 carbon atoms, which may be substituted by at least one substituent; and in cases where n is 2, R4 represents an alkylene group having 1-12 carbon atoms, which may be substituted by at least one substituent.)
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir un nouveau matériau d'empreinte. La solution selon l'invention porte sur un matériau d'empreinte qui contient le constituant (A), le constituant (B), le constituant (C) et le constituant (D) décrits ci-après. (A) un composé représenté par la formule (1), (B) un composé représenté par la formule (2), (C) un composé représenté par la formule (3), (D) un initiateur de photopolymérisation, (dans les formules, chaque R1 représente indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle ; R2 représente un groupe hydrocarboné comportant de 1 à 5 atomes de carbone, qui peut posséder un groupe hydroxy comme substituant ; m équivaut à 2 ou 3 ; X représente un groupe de liaison divalent comportant un motif oxyde d'éthylène et/ou un motif oxyde de propylène ; R3 représente un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle comportant de 1 à 3 atomes de carbone ; n équivaut à 1 ou 2 ; dans les cas où n équivaut à 1, R4 représente un groupe alkyle comportant de 1 à 12 atomes de carbone, qui peut être substitué par au moins un substituant ; et dans les cas où n équivaut à 2, R4 représente un groupe alkylène comportant 1 à 12 atomes de carbone, qui peut être substitué par au moins un substituant).
(JA) 【課題】 新規なインプリント材料を提供すること。 【解決手段】 下記(A)成分、(B)成分、(C)成分及び(D)成分を含有するインプリント材料。 (A)下記式(1)で表される化合物 (B)下記式(2)で表される化合物 (C)下記式(3)で表される化合物 (D)光重合開始剤 (式中、Rはそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を表し、Rは置換基としてヒドロキシ基を有してもよい炭素原子数1乃至5の炭化水素基を表し、mは2又は3を表し、Xはエチレンオキサイドユニット及び/又はプロピレンオキサイドユニットを有する二価の連結基を表し、Rは水素原子又は炭素原子数1乃至3のアルキル基を表し、nは1又は2を表し、nが1を表す場合、Rは、少なくとも一つの置換基で置換されていてもよい、炭素原子数1乃至12のアルキル基を表し、nが2を表す場合、Rは、少なくとも一つの置換基で置換されていてもよい、炭素原子数1乃至12のアルキレン基を表す。)
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지정국: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
아프리카지역 지식재산권기구(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
유라시아 특허청(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
유럽 특허청(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
아프리카 지식재산권기구(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
공개언어: 일본어 (JA)
출원언어: 일본어 (JA)
또한로 출판 됨:
CN107710385KR1020180021725JPWO2017002506US20180180999