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1. (WO2007098290) APPROACH FOR FABRICATING PROBE ELEMENTS FOR PROBE CARD ASSEMBLIES USING A REUSABLE SUBSTRATE
국제사무국에 기록된 최신 서지정보   

공개번호:    WO/2007/098290    국제출원번호:    PCT/US2007/005144
공개일: 30.08.2007 국제출원일: 27.02.2007
IPC:
G01R 3/00 (2006.01), H05K 3/20 (2006.01), G01R 1/067 (2006.01)
출원인: SV PROBE PTE LTD. [SG/SG]; 29 Woodlands Industrial Park E1, #04-01 North Tech, Lobby 1, Singapore 757716 (SG) (For All Designated States Except US).
HEINEMANN, Keith [US/US]; (US) (For US Only).
LING, Jamin [US/US]; (US) (For US Only).
MCCULLOUGH, Richard [US/US]; (US) (For US Only).
MCHUGH, Brian [US/US]; (US) (For US Only).
WAHL, Jordan [US/US]; (US) (For US Only)
발명자: HEINEMANN, Keith; (US).
LING, Jamin; (US).
MCCULLOUGH, Richard; (US).
MCHUGH, Brian; (US).
WAHL, Jordan; (US)
대리인: BECKER, Edward, A.; Hickman Palermo Truong & Becker LLP, 2055 Gateway Place, Suite 550, San Jose, CA 95110 (US)
우선권 정보:
60/777,186 27.02.2006 US
11/711,578 26.02.2007 US
발명의 명칭: (EN) APPROACH FOR FABRICATING PROBE ELEMENTS FOR PROBE CARD ASSEMBLIES USING A REUSABLE SUBSTRATE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENTS DE CONTRÔLE POUR DES ENSEMBLES DE CARTES DE CONTRÔLE AU MOYEN D'UN SUBSTRAT RÉUTILISABLE
요약서: front page image
(EN)An approach is provided for fabricating probe elements for probe card assemblies. Embodiments of the invention include using a reusable substrate, a reusable substrate with layered probe elements and a reusable substrate with a passive layer made of a material that does not adhere well to probe elements formed thereon. Examples of probe elements include, without limitation, a cantilever probe element, a vertically-oriented probe element, and portions of probe elements, e.g., a beam element of a cantilever probe element. Probe elements, or portions of probe elements, may be formed using any of a number of electroforming or plating processes such as, for example, plating using masking techniques, e.g., using lithographic techniques such as photolithography, stereolithography, X-ray lithography, etc.
(FR)La présente invention concerne un procédé de fabrication d'éléments de contrôle pour des ensembles de cartes de contrôle. Des modes de réalisation de l'invention comprennent un substrat réutilisable, un substrat réutilisable avec des éléments de contrôle stratifiés et un substrat réutilisable sur lequel est formée une couche passive constituée d'un matériau qui n'adhère pas bien aux éléments de contrôle. Des exemples d'éléments de contrôle sont, sans limitation, un élément de contrôle en porte-à-faux, un élément de contrôle orienté verticalement, et des parties d'éléments de contrôle, par ex. un élément en faisceau d'un élément de contrôle en porte-à-faux. Des éléments de contrôle, ou des parties d'éléments de contrôle peuvent être réalisés au moyen d'un certain nombre de processus d'électroformage ou de placage, comme par exemple un placage utilisant des techniques de masquage, par ex., au moyen de techniques lithographiques comme la photolithographie, la stéréolithographie, la lithographie aux rayons X, entre autres.
지정국: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
공개언어: English (EN)
출원언어: English (EN)