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1. (WO2006017163) VERSATILE SEMI-TOROIDAL PROCESSING FURNACE WITH AUTOMATIC AND RECONFIGURABLE WAFER EXCHANGE

국제출원 상태
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17.02.2019국제출원상태보고서HTML, PDF, XMLPDF, XML


공개된 국제출원
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19.07.2007국제조사보고서의 사후 공개( (A3 29/2007))PDF (3p.)PDF (3p.), ZIP(XML + TIFFs)
16.02.2006국제조사보고서(ISR)를 포함하지 않는 초기 공개( (A2 07/2006))PDF (42p.)PDF (42p.), ZIP(XML + TIFFs)


조사 및 심사 관련 서류
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19.06.2007(IB/373) 특허성에 관한 국제예비보고서(제1장)PDF (5p.)PDF (5p.), ZIP(XML + TIFFs)
15.06.2007(ISA/237) 국제조사기관의 견해서PDF (4p.)PDF (4p.), ZIP(XML + TIFFs)


국제사무국에 기록된 관련서류
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16.02.2006우선권서류PDF (42p.)PDF (42p.), ZIP(XML + TIFFs)
16.02.2006우선권서류PDF (44p.)PDF (44p.), ZIP(XML + TIFFs)