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1. (WO2006010128) MAINTENANCE, DIAGNOSIS AND OPTIMIZATION OF PROCESSES
국제사무국에 기록된 최신 서지정보

공개번호: WO/2006/010128 국제출원번호: PCT/US2005/024580
공개일: 26.01.2006 국제출원일: 11.07.2005
국제예비심사 청구일: 07.02.2006
IPC:
G06F 19/00 (2006.01) ,G06F 11/30 (2006.01) ,G01N 37/00 (2006.01)
G SECTION G — 물리학
06
산술논리연산; 계산; 계수
F
전기에 의한 디지털 데이터처리
19
특수한 어플리케이션에 특히 적합한 디지털 컴퓨팅 또는 데이터 처리 장치 또는 방법
G SECTION G — 물리학
06
산술논리연산; 계산; 계수
F
전기에 의한 디지털 데이터처리
11
에러 검출; 에러 정정; 감시
30
감시
G SECTION G — 물리학
01
측정; 시험
N
재료의 화학적 또는 물리적 성질의 검출에 의한 재료의 조사 또는 분석
37
이 서브클래스의 다른 어느 그룹에도 포함되지 않는 세부
출원인:
ONWAFER TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 6591.A Sierra Lane Dublin, CA 94568, US (AllExceptUS)
발명자:
MACDONALD, Paul, D.; US
KRUGER, Michiel; US
WELCH, Michael; US
FREED, Mason, L.; US
SPANOS, Costas, J.; US
대리인:
WILLIAMS, Larry; 3645 Montgomery Drive Santa Rosa, CA 95405, US
우선권 정보:
60/586,89210.07.2004US
발명의 명칭: (EN) MAINTENANCE, DIAGNOSIS AND OPTIMIZATION OF PROCESSES
(FR) PROCEDE ET APPAREILS DE MAINTENANCE, DE DIAGNOSTIC ET D'OPTIMISATION DE PROCEDES
요약서:
(EN) A method and system (50) for monitoring processes, optimizing processes, and diagnosing problems in the performance of a process tool for processing a workpiece. One embodiment of the present invention includes a software program that can be implemented in a computer for optimizing the performance of a process tool for processing a workpiece. System 50 includes a design experiments module (60), a perturbation model builder (70) and a data analysis module (75).
(FR) L'invention porte, dans un aspect, sur un procédé de surveillance de procédés, d'optimisation de procédés, et de diagnostic de problèmes relatifs à la performance d'un instrument de traitement permettant de traiter une pièce à travailler. Dans un autre aspect, l'invention concerne un système configuré pour surveiller des procédés, optimiser des procédés et diagnostiquer des problèmes relatifs à la performance d'un instrument de traitement servant à traiter une pièce à travailler. Un mode de réalisation de l'invention comprend un programme logiciel qui peut être installé dans un ordinateur afin d'optimiser la performance d'un instrument de traitement d'une pièce à travailler.
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지정국: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
아프리카지역 지식재산권기구(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
유라시아 특허청(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
유럽 특허청(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
아프리카 지식재산권기구(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
공개언어: 영어 (EN)
출원언어: 영어 (EN)