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1. (WO2001078115) BARRIER COATING FOR VITREOUS MATERIALS
국제사무국에 기록된 최신 서지정보   

공개번호: WO/2001/078115 국제출원번호: PCT/US2001/011223
공개일: 18.10.2001 국제출원일: 06.04.2001
국제예비심사 청구일: 26.10.2001
IPC:
C03C 17/22 (2006.01) ,C23C 16/44 (2006.01)
C SECTION C — 화학; 야금
03
유리; 광물 또는 슬래그울(Slag Wool)
C
유리, 유약(glazes) 또는 유리질법랑(Vitreous enamels) 의 화학적 조성; 유리의 표면처리; 유리, 광물 또는 슬래 그로부터의 섬유 또는 필라멘트의 표면처리; 유리와 유리 또는 타물질과의 접착
17
섬유 또는 필라멘트가 아닌 유리 (예. 실투유리)의 피복에 의한 표면처리
22
다른 무기물에 의한 것
C SECTION C — 화학; 야금
23
금속재료의 피복; 금속 피복재료; 화학적 표면처리; 금속재료의 확산처리; 진공증착, 스퍼터링(SPUTTERING), 이온주입 또는 화학증착에 의한 피복 일반; 금속재료의 방식 또는 이물질 형성 방지 일반
C
금속재료의 피복; 금속 피복재료; 표면 확산, 화학적 전환 또는 치환에 의한 금속재료의 표면처리; 진공증착, 스퍼터링, 이온주입 또는 화학증착에 의한 피복, 일반
16
가스상 화합물의 분해에 의한 화학적 피복, 단 표면재료의 반응생성물을 피복층중에 남기지 않는것, 즉 화학증착법
44
.피복방법에 특징이 있는 것
출원인: ASM AMERICA, INC.[US/US]; 3440 East University Drive Phoenix, AZ 85034, US
발명자: HALPIN, Michael, W.; US
대리인: ALTMAN, Daniel, E.; Knobbe, Martens, Olson and Bear LLP 620 Newport Center Drive 16 th Floor Newport Beach, CA 92660, US
우선권 정보:
60/195,56106.04.2000US
발명의 명칭: (EN) BARRIER COATING FOR VITREOUS MATERIALS
(FR) REVETEMENT DE SEPARATION DESTINE A DES MATERIAUX VITREUX
요약서:
(EN) A chemical vapor deposition apparatus comprises a reaction chamber and one or more vitreous components having an outer surface that is covered at least in part by a devitrification barrier layer. In some arrangements, the one or more vitrious components can include a thermocouple. In a preferred arrangement, the devitrification barrier coating is formed from silicon nitride, which can be deposited on the vitreous component using chemical vapor deposition (CVD).
(FR) La présente invention concerne un appareil de dépôt chimique en phase vapeur qui comprend une chambre de réaction et un ou plusieurs composants vitreux dont la surface externe est couverte au moins en partie par une couche de séparation de dévitrification. Dans certains agencements, ce ou ces composants vitreux peuvent comprendre un thermocouple. Dans un agencement préféré, le revêtement de séparation de dévitrification est formé à partir de nitrure de silicium, qui peut être déposé sur le composant vitreux par dépôt chimique en phase vapeur.
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지정국: JP, KR
유럽 특허청(EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
공개언어: 영어 (EN)
출원언어: 영어 (EN)