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1. (WO1997016922) IMAGING SYSTEM
국제사무국에 기록된 최신 서지정보

공개번호: WO/1997/016922 국제출원번호: PCT/US1996/017505
공개일: 09.05.1997 국제출원일: 30.10.1996
국제예비심사 청구일: 22.05.1997
IPC:
G02B 21/00 (2006.01)
G SECTION G — 물리학
02
광학
B
광학요소, 광학계 또는 광학장치; H01J; X선 광학 H01J; 29/89
21
현미경
출원인:
GRAVELY, Benjamin, T. [US/US]; US
발명자:
GRAVELY, Benjamin, T.; US
대리인:
ROSENTHAL, Robert, G.; Rosenthal & Putterman 5856 Faringdon Place Raleigh, NC 27609, US
우선권 정보:
60/007,08631.10.1995US
발명의 명칭: (EN) IMAGING SYSTEM
(FR) SYSTEME D'IMAGERIE
요약서:
(EN) An imaging system operates at the diffraction limit of the optics to which it is connected and outputs a signal representative of a sample (S) lying in the sample plane (17). The system comprises a cathode ray tube (30), an optical lens system (10'), and a means for sensing (40). The cathode ray tube (30) comprises an electron gun (34) for generating an electron beam (35) in a raster pattern. The electron beam (35) is adapted to produce an illuminated spot (39a) that scans correspondingly in the raster pattern and wherein the spot (39a) is positioned in an object plane (26). The optical lens system (10') focuses in a diffraction limited manner, the object plane (26) on to the sample plane (17), such that the image of the spot (39b) is the smallest diffraction limited size as determined by the optical lens system (10').
(FR) Un système d'imagerie fonctionne à la limite de diffraction de l'optique sur laquelle il est connecté et produit un signal de sortie repésentant un échantillon (S) se trouvant dans le plan (17) de l'échantillon. Le système comprend un tube à rayon cathodique (30), un système à lentille optique (10') et un dispositif de détection (40). Le tube à rayon cathodique (30) comprend un canon à électrons (34) qui génère un faisceau d'électrons (35) suivant une configuration de trame. Le faisceau d'électrons (35) est adapté pour produire un point ou spot éclairé (39A) qui balaie de manière correspondante la configuration de trame, le spot (39a) étant positionné dans un plan d'objet (26). Le système à lentille optique (10') focalise de manière limitée en diffraction le plan d'objet (26) sur le plan d'échantillon (17), de sorte que l'image du spot (39b) ait la taille limitée en diffraction la plus petite, comme déterminée par le système à lentille optique (10').
지정국: AU, CA, JP
유럽 특허청(EPO) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
공개언어: 영어 (EN)
출원언어: 영어 (EN)
또한로 출판 됨:
EP0858708JP2000500881CA2234950AU1996075294