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1. (KR1020180012310) 스퍼터링 타겟 조립체

특허청 : 대한민국
출원번호: 1020177037218 출원일: 02.05.2016
공개번호: 1020180012310 공개일: 05.02.2018
공개유형: A
PCT 선출원: 출원번호: ; 공개번호: WO2017002445 (자료를 보려면 번호를 클릭하십시오)
IPC:
C23C 14/34
C23C 18/32
C23C 18/50
C25D 3/12
C25D 3/56
H01J 37/34
C SECTION C — 화학; 야금
23
금속재료의 피복; 금속 피복재료; 화학적 표면처리; 금속재료의 확산처리; 진공증착, 스퍼터링(SPUTTERING), 이온주입 또는 화학증착에 의한 피복 일반; 금속재료의 방식 또는 이물질 형성 방지 일반
C
금속재료의 피복; 금속 피복재료; 표면 확산, 화학적 전환 또는 치환에 의한 금속재료의 표면처리; 진공증착, 스퍼터링, 이온주입 또는 화학증착에 의한 피복, 일반
14
피복형성재료의 진공증착, 스퍼터링, 또는 이온주입에 의한 피복
22
.피복공정에 특징이 있는 것
34
스퍼터링
C SECTION C — 화학; 야금
23
금속재료의 피복; 금속 피복재료; 화학적 표면처리; 금속재료의 확산처리; 진공증착, 스퍼터링(SPUTTERING), 이온주입 또는 화학증착에 의한 피복 일반; 금속재료의 방식 또는 이물질 형성 방지 일반
C
금속재료의 피복; 금속 피복재료; 표면 확산, 화학적 전환 또는 치환에 의한 금속재료의 표면처리; 진공증착, 스퍼터링, 이온주입 또는 화학증착에 의한 피복, 일반
18
액상성분 또는 용액의 어느 것으로부터 되는 피복형성성분의 분해에 의한 화학적피복. 단 표면재료의 반응생성물을 피복층중에 남기지 않는 것 접촉도금
16
.환원 또는 치환에 의한 것, 예. 무전해도금
31
금속으로 피복하는 것
32
철, 코발트 또는 니켈피복; 인 또는 붕소의 혼합물로 이들 금속의 하나사 혼합되는 피복
C SECTION C — 화학; 야금
23
금속재료의 피복; 금속 피복재료; 화학적 표면처리; 금속재료의 확산처리; 진공증착, 스퍼터링(SPUTTERING), 이온주입 또는 화학증착에 의한 피복 일반; 금속재료의 방식 또는 이물질 형성 방지 일반
C
금속재료의 피복; 금속 피복재료; 표면 확산, 화학적 전환 또는 치환에 의한 금속재료의 표면처리; 진공증착, 스퍼터링, 이온주입 또는 화학증착에 의한 피복, 일반
18
액상성분 또는 용액의 어느 것으로부터 되는 피복형성성분의 분해에 의한 화학적피복. 단 표면재료의 반응생성물을 피복층중에 남기지 않는 것 접촉도금
16
.환원 또는 치환에 의한 것, 예. 무전해도금
48
합금으로 피복하는 것
50
철, 코발트 또는 니켈을 기초로 하는 합금에 의한 것
C SECTION C — 화학; 야금
25
전기분해 또는 전기영동 방법; 그것을 위한 장치
D
전기분해 또는 전기영동에 의한 피복방법; 전기주조; 전해에 의한 관련 제품; 그것을 위한 장치
3
전기도금; 그를 위한 도금욕
02
용액에서의 것
12
니켈 또는 코발트
C SECTION C — 화학; 야금
25
전기분해 또는 전기영동 방법; 그것을 위한 장치
D
전기분해 또는 전기영동에 의한 피복방법; 전기주조; 전해에 의한 관련 제품; 그것을 위한 장치
3
전기도금; 그를 위한 도금욕
02
용액에서의 것
56
합금
H SECTION H — 전기
01
기본적 전기소자
J
전자관 또는 방전램프
37
방전에 노출되는(exposed) 물체 또는 재료를 도입하는 설비가 있는 전자관, 예. 그 시험 또는 처리를 위한 것
32
가스 넣는 방전관
34
음극스퍼터를 수반해서 동작하는 것
출원인: 가부시키가이샤 코베루코 카겐
발명자: 다카기 가쓰토시
가나마루 모리요시
히로세 겐타
이와사키 유키
대리인: 제일특허법인
우선권 정보 JP-P-2015-130969 30.06.2015 JP
발명의 명칭: (KO) 스퍼터링 타겟 조립체
요약서: front page image
(KO) 배킹 플레이트 상에 배치된 복수의 재치부로서, 서로 간격을 띄워 배치되며, 각각의 위에 본딩재를 개재하여 1개 이상의 스퍼터링 타겟 부재가 배치된 복수의 재치부를 포함하고, 이웃하는 상기 재치부 사이의 극간부에 Ni기 재료의 코팅을 갖는 스퍼터링 타겟 조립체이다.
Also published as:
CN107636194WO/2017/002445