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1. (JP4605014) 露光装置、露光方法、デバイスの製造方法

특허청 : 일본
출원번호: 2005514993T 출원일: 25.10.2004
공개번호: 4605014 공개일: 05.01.2011
특허번호: 4605014 특허부여일: 05.01.2011
공개유형: B2
PCT 선출원: 출원번호: WOJP2004015796; 공개번호: WO2005041276 (자료를 보려면 번호를 클릭하십시오)
IPC:
H01L 21/27
G03F 7/20
[IPC code unknown for H01L 21/27]
G SECTION G — 물리학
03
전자사진; 광파 이외의 파를 사용하는 유사기술; 영화; 사진; 홀로그래피(Holography)
F
사진제판법에 의한 요철화 또는 패턴화 표면의 제조, 예. 인쇄용, 반도체장치의 제조법용; 그것을 위한 재료; 그것을 위한 원료; 그것을 위한 특별히 적합한 장치
7
사진제판법, 예 사진석판법에 의한 요철화 또는 패턴화된 표면의 제조, 예. 인쇄표면의 제조 그것을 위한 재료, 예. 포토레지스트로 된 것 그것을 위하여 특히 적합한 장치
20
노광; 그것을 위한 장치
CPC:
G03F 7/70341
G03F 7/2041
출원인: 株式会社ニコン; 東京都千代田区有楽町1丁目12番1号
발명자: 今井 基勝
牧野内 進
우선권 정보 2003366914 28.10.2003 JP
JP2004015796 25.10.2004 WO
발명의 명칭: (JA) 露光装置、露光方法、デバイスの製造方法
요약서:
Also published as:
KR1020060128877EP1679738WO/2005/041276