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1. (WO2002021207) MODULAR EXPOSURE APPARATUS WITH REMOVABLE OPTICAL DEVICE AND IMPROVED ISOLATION OF THE OPTICAL DEVICE
국제사무국에 기록된 최신 서지정보   

공개번호:    WO/2002/021207    국제출원번호:    PCT/US2001/027639
공개일: 14.03.2002 국제출원일: 07.09.2001
국제예비심사 청구일:    03.04.2002    
IPC:
G03B 27/42 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
출원인: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 6-3, Nishi-Ohi 1-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 140-8601 (JP) (For All Designated States Except US).
WATSON, Douglas, C. [US/US]; (US) (For US Only).
PHILLIPS, Alton, H. [US/US]; (US) (For US Only)
발명자: WATSON, Douglas, C.; (US).
PHILLIPS, Alton, H.; (US)
대리인: PITCHER, David, M.; Staas & Halsey LLP, Suite 500, 700 Eleventh St. N.W., Washington, DC 20001 (US)
우선권 정보:
09/658,615 08.09.2000 US
발명의 명칭: (EN) MODULAR EXPOSURE APPARATUS WITH REMOVABLE OPTICAL DEVICE AND IMPROVED ISOLATION OF THE OPTICAL DEVICE
(FR) APPAREIL D'EXPOSITION MODULAIRE COMPORTANT UN DISPOSITIF OPTIQUE AMOVIBLE ET PRESENTANT UNE MEILLEURE ISOLATION DU DISPOSITIF OPTIQUE
요약서: front page image
(EN)An exposure apparatus (10) that includes a support frame (12), a base frame (14), a first stage assembly (16), a second stage assembly (18), an optical frame (20), an optical device (22), and a measurement system (24) is provided herein. The exposure apparatus (10) is typically mounted to a mounting base (30). As provided herein, the optical frame (20), the optical device (22), and a portion of the measurement system (24) can be assembled as an optical assembly (36) that is isolated from the base frame (14) with an optical isolation system (42). Further, the base frame (14), at least a portion of the first stage assembly (16) and the second stage assembly (18) can be assembled as a base assembly (38) that is isolated from the support frame (12) with a base isolation system (40). With this design, the base assembly (38) is isolated from the support frame (12) with the base isolation system (40) and the optical assembly (36) is isolated from the base assembly (38) with the optical isolation system (42). As a result thereof, the assemblies (36), (38) are effectively attached in series to the mounting base (30) with the isolation systems (40), (42) and the optical device (22) is isolated from the mounting base (30) with two levels of isolation. The two levels of isolation systems (40), (42) better isolate the optical device (22) from vibration and disturbances. Further, with the design provided herein, the optical device (22) and the other components of the optical assembly (36) can be accessed relatively easily for service and adjustment.
(FR)L'invention concerne un appareil d'exposition (10) comportant un cadre de support (12), un cadre de base (14), un ensemble premier étage (16), un ensemble second étage (18), un cadre optique (20), un dispositif optique (22) et un système de mesure (24). Cet appareil d'exposition (10) est généralement monté sur une base de montage (30). Le cadre optique (20), le dispositif optique (22) et une partie du système de mesure (24) peuvent être assemblés sous forme d'un ensemble (36) qui est isolé du cadre de base (14) par un système d'isolation optique (42). En outre, le cadre de base (14), au moins une partie de l'ensemble premier étage (16) et de l'ensemble second étage (18) peuvent être assemblés sous forme d'un ensemble de base (38) qui est isolé du cadre de support (12) par un système d'isolation de base (40). Selon cette conception, l'ensemble de base (38) est isolé du cadre de support (12) par le système d'isolation de base (40) et l'ensemble optique (36) est isolé de l'ensemble de base (38) par le système d'isolation optique (42). En conséquence, lesdits ensembles (36, 38) sont montés en série sur la base de montage (30) avec les systèmes d'isolation (40, 42) et le dispositif optique (22) est isolé de la base de montage (30) par deux couches d'isolation. Les deux couches des systèmes d'isolation (40, 42) isolent mieux le dispositif optique (22) des vibrations et des perturbations. Enfin, grâce à la présente conception, on peut accéder au dispositif optique (22) et aux autres composants de l'ensemble optique (36) relativement facilement pour effectuer le service et procéder à des réglages.
지정국: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
공개언어: English (EN)
출원언어: English (EN)