WIPO が提供するオンライン サービスの外観や操作性を統一させる取り組みの一環として、PATENTSCOPE のデザインも新しくなります。
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【課題】 ＰＭＭＡやＰＣ等のポリマー材料に対して、反応性イオンエッチング法を用いて、正確に微細なピラーアレイ構造を安価に形成することができるマイクロピラーアレイ素子の製造方法と製造装置並びにマイクロ流体チップ等に用いるマイクロピラーアレイ素子を提供する。【解決手段】 真空容器１２内にプラズマを発生させて反応性イオンを生成し、真空容器１２内に設けられた被エッチング材料３０を、反応性イオンによりドライエッチングする。被エッチング材料３０はポリマー材料であり、ポリマー材料の表面にマイクロピラーアレイ構造に対応した所定形状のマスクを施す。酸素もしくは酸素を主体とした不活性ガスやハロゲン含有ガスとの混合ガスを用いて、これら混合ガスによる反応性イオンのプロセス圧力を０．０１Ｐａ以上０．２Ｐａ以下の条件にして、ドライエッチングを行い、ポリマー材料に微細なピラー構造を形成する。【選択図】図１
【課題】コイルのプレートフィンの表面に湿膜を形成することにより、捕集効果を高めたを湿膜コイルを提供する。【解決手段】コイル３は、そのプレートフィン３０に、水平方向に長い孔３１を多数形成する。コイル３の上に、吸水性又は保水性の材質によって形成されたマット６０を配設するるとともに、このマット６０上に水を滴下する給水管７０を設ける。給水管７０から、マット６０を介してプレートフィン３０に供給され、その後落下した水が、下部に配置された水槽に回収され、一部は排水され、一部は補給水とともにポンプによって給水管に循環供給されるように、配管を接続する。【選択図】図３
本発明は、（Ａ）スチレン系樹脂及び／又はポリフェニレンエーテル系樹脂９５〜５重量部と、（Ｂ）オレフィン系樹脂５〜９５重量部と、前記成分（Ａ）及び（Ｂ）の合計量１００重量部に対して（Ｃ）部分水素添加ブロック共重合体１〜２８重量部と、を含有する熱可塑性樹脂組成物であって、前記成分（Ｃ）は、ビニル芳香族化合物を主体とする少なくとも１個の重合体ブロックＸと、共役ジエン化合物を主体とする少なくとも１個の重合体ブロックＹとを有し、前記成分（Ｃ）中のビニル芳香族化合物含有量が１０重量％以上８０重量％以下であり、前記成分（Ｃ）中の、水素添加前におけるビニル結合量が３重量％以上５０重量％未満であり、前記成分（Ｃ）を構成するブロック共重合体中の、共役ジエン化合物に基づく二重結合の１ｍｏｌ％以上４０ｍｏｌ％未満が水素添加されている部分水素添加ブロック共重合体である熱可塑性樹脂組成物を開示する。
