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1. CN101479841 - Manufacturing method for susceptor and susceptor using this method

官庁 中華人民共和国
出願番号 200780024304.X
出願日 18.04.2007
公開番号 101479841
公開日 08.07.2009
公報種別 A
IPC
H01L 21/683
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683支持または把持のためのもの
出願人 Entropy Co., Ltd.
韩国世界中心科技有限公司
発明者 Lee Young Chul
李永喆
Kim Mun Hwan
金文焕
Kim Jong Seo
金钟瑞
代理人 chen yangdun wang yi
北京鸿元知识产权代理有限公司
北京鸿元知识产权代理有限公司
優先権情報 10-2006-0038732 28.04.2006 KR
10-2006-0038847 28.04.2006 KR
10-2006-0090988 20.09.2006 KR
10-2006-0136876 28.12.2006 KR
10-2006-0136879 28.12.2006 KR
発明の名称
(EN) Manufacturing method for susceptor and susceptor using this method
(ZH) 基座的制造方法及使用该方法的基座
要約
(EN)
The invention relates to a method of manufacturing a susceptor, in a way of joining a susceptor body and a cover together while simultaneously embedding a heater. The method includes preparing a susceptor cover having one or more projections, preparing a susceptor body having grooves corresponding to the projections of the susceptor cover, and fitting the susceptor cover in the susceptor body through forging, in which at least one of each of the projections and each of the grooves is plastically deformed during the forging, thus enabling a close fit therebetween, wherein at least one of each of the projections and each of the grooves is partially changed in sectional shape such that the projection and the groove have different sectional areas, when viewed in an insertion direction.

(ZH)

本发明提供一种基座的制造方法,在将基座主体与顶盖接合在一起的同时将加热器嵌入其中。该方法包括制备具有一个或多个突出部分的基座顶盖,制备具有与基座顶盖的突出部分相对应的凹槽的基座主体,以及通过锻造将基座顶盖装配到基座主体中,其中,各突出部分与各凹槽中的至少一个在锻造期间产生塑性变形,因此彼此间能紧密配合,其中,各突出部分与各凹槽中的至少一个的剖面形状被局部改变,从而当从插入方向观看时,突出部分与凹槽具有不同的剖面面积。