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1. WO2023033065 - 転写フィルム、転写フィルムの製造方法、パターン形成方法、回路配線の製造方法、タッチパネルの製造方法

公開番号 WO/2023/033065
公開日 09.03.2023
国際出願番号 PCT/JP2022/032836
国際出願日 31.08.2022
IPC
G03F 7/004 2006.1
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004感光材料
G03F 7/033 2006.1
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004感光材料
027炭素-炭素二重結合を有する非高分子光重合性化合物,例.エチレン化合物
032結合剤をもつもの
033結合剤が炭素-炭素不飽和結合を含む反応のみによって得られた重合体であるもの,例.ビニル重合体
G03F 7/11 2006.1
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004感光材料
09構造の細部,例.支持体,補助層,に特徴のあるもの
11被覆層又は中間層,例.下塗層をもつもの
G03F 7/20 2006.1
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20露光;そのための装置
G03F 7/40 2006.1
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
26感光材料の処理;そのための装置
40画像様除去後の処理,例.加熱
G06F 3/041 2006.1
G物理学
06計算;計数
F電気的デジタルデータ処理
3計算機で処理しうる形式にデータを変換するための入力装置;処理ユニットから出力ユニットへデータを転送するための出力装置,例.インタフェース装置
01ユーザーと計算機との相互作用のための入力装置または入力と出力が結合した装置
03器具の位置または変位をコード信号に変換するための装置
041変換手段によって特徴付けられたデジタイザー,例.タッチスクリーンまたはタッチパッド用のもの
出願人
  • 富士フイルム株式会社 FUJIFILM CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 山口 圭吾 YAMAGUCHI Keigo
  • 児玉 邦彦 KODAMA Kunihiko
代理人
  • 伊東 秀明 ITOH Hideaki
  • 三橋 史生 MITSUHASHI Fumio
優先権情報
2021-14151231.08.2021JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) TRANSFER FILM, METHOD FOR PRODUCING TRANSFER FILM, PATTERN FORMING METHOD, METHOD FOR PRODUCING CIRCUIT WIRING LINE, AND METHOD FOR PRODUCING TOUCH PANEL
(FR) FILM DE TRANSFERT AINSI QUE PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI, PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CÂBLAGE DE CIRCUIT, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉCRAN TACTILE
(JA) 転写フィルム、転写フィルムの製造方法、パターン形成方法、回路配線の製造方法、タッチパネルの製造方法
要約
(EN) One problem to be addressed by the present invention is to provide a transfer film which is capable of forming a pattern that has a low dielectric constant, while exhibiting excellent followability to level difference when bonded. Another problem to be addressed by the present invention is to provide a pattern forming method, a method for producing a circuit wiring line and a method for producing a touch panel, the methods being associated with the transfer film. A transfer film according to the present invention sequentially comprises a provisional supporting body, a thermoplastic resin layer and a photosensitive layer in this order; the photosensitive layer contains a compound A that has a carboxy group; and the content of the carboxy group is decreased by irradiation of active light or radiation.
(FR) L'invention a pour objet de fournir un film de transfert qui permet de former un motif de faible constante diélectrique, et qui présente d'excellentes propriétés pour épouser les différences de niveau lors d'un collage. L'invention a également pour objet de fournir un procédé de formation de motif, un procédé de fabrication de câblage de circuit et un procédé de fabrication d'écran tactile associés audit film de transfert. Le film de transfert de l'invention possède dans l'ordre un support temporaire, une couche de résine thermoplastique et une couche photosensible. Ladite couche photosensible contient un composé (A) possédant un groupe carboxy. La teneur en groupe carboxy est diminuée sous l'effet d'une irradiation par des rayons actiniques ou des rayonnements.
(JA) 本発明の課題は、低誘電率のパターンが形成可能であり、且つ、貼合の際に段差追従性に優れる、転写フィルムを提供することにある。また、本発明の他の課題は、上記転写フィルムに関する、パターン形成方法、回路配線の製造方法、及びタッチパネルの製造方法を提供することにある。 本発明の転写フィルムは、仮支持体と、熱可塑性樹脂層と、感光性層とをこの順に有する転写フィルムであり、 上記感光性層は、カルボキシ基を有する化合物Aを含み、 活性光線又は放射線の照射によって上記カルボキシ基の含有量が減少する、転写フィルム。
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