処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. WO2023032456 - 酸化物焼結体及びその製造方法並びにスパッタリングターゲット材

公開番号 WO/2023/032456
公開日 09.03.2023
国際出願番号 PCT/JP2022/026468
国際出願日 01.07.2022
IPC
C23C 14/34 2006.1
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22被覆の方法に特徴のあるもの
34スパッタリング
C04B 35/453 2006.1
C化学;冶金
04セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01酸化物を基とするもの
453酸化亜鉛,酸化スズまたは酸化ビスマスまたはそれらと他の酸化物,例.亜鉛酸塩,スズ酸塩またはビスマス酸塩,の固溶体を基とするもの
出願人
  • 三井金属鉱業株式会社 MITSUI MINING & SMELTING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 深川 功児 FUKAGAWA, Koji
代理人
  • 特許業務法人翔和国際特許事務所 SHOWA INTERNATIONAL PATENT FIRM
優先権情報
2021-14225701.09.2021JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) OXIDE SINTERED BODY, PRODUCTION METHOD FOR SAME, AND SPUTTERING TARGET MATERIAL
(FR) CORPS FRITTÉ D'OXYDE, SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION ET MATÉRIAU DE CIBLE DE PULVÉRISATION
(JA) 酸化物焼結体及びその製造方法並びにスパッタリングターゲット材
要約
(EN) This oxide sintered body includes tin, tantalum, and niobium. The area fraction of pores per unit area of the oxide sintered body as observed in cross-section is no more than 1%. The maximum circle equivalent diameter of the pores of the oxide sintered body as observed in cross-section is no more than 20 μm. The maximum Feret diameter of the pores of the oxide sintered body as observed in cross-section is no more than 50 μm. The relative density of the oxide sintered body as measured by the Archimedes method is preferably at least 99.6%. The flexural strength of the oxide sintered body as measured in accordance with JIS R1601 is preferably at least 180 MPa.
(FR) Ce corps fritté d'oxyde comprend de l'étain, du tantale et du niobium. La fraction de surface de pores par unité de surface du corps fritté d'oxyde telle qu'observée en coupe transversale n'est pas supérieure à 1 %. Le diamètre équivalent de cercle maximal des pores du corps fritté d'oxyde tel qu'observé en coupe transversale n'est pas supérieur à 20 μm. Le diamètre de Feret maximal des pores du corps fritté d'oxyde tel qu'observé en coupe transversale n'est pas supérieur à 50 μm. La densité relative du corps fritté d'oxyde telle que mesurée par le procédé d'Archimède est préférentiellement d'au moins 99,6 %. La résistance à la flexion du corps fritté d'oxyde telle que mesurée conformément à JIS R1601 est préférentiellement d'au moins 180 MPa.
(JA) 本発明の酸化物焼結体は、スズ元素、タンタル元素及びニオブ元素を含む。酸化物焼結体の断面観察における単位面積当たりの孔部の面積率が1%以下である。酸化物焼結体の断面観察における孔部の最大円相当径が20μm以下である。酸化物焼結体の断面観察における孔部の最大フェレ径が50μm以下である。酸化物焼結体のアルキメデス法に基づき測定された相対密度が99.6%以上であることが好適である。酸化物焼結体のJIS R1601に準拠して測定された抗折強度が180MPa以上であることが好適である。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報