(EN) The present invention provides a composite substrate which is suppressed in occurrence of a warp. A composite substrate according to one embodiment of the present invention comprises a supporting substrate and a piezoelectric film that is arranged above the supporting substrate; and the piezoelectric film is configured from a polycrystalline body that has a degree of the c-axis orientation of 80% or less as determined by a Lotgering method.
(FR) La présente invention concerne un substrat composite qui est supprimé lors de l'apparition d'une déformation. Un substrat composite selon un mode de réalisation de la présente invention comprend un substrat de support et un film piézoélectrique qui est disposé au-dessus du substrat de support ; et le film piézoélectrique est configuré à partir d'un corps polycristallin qui a un degré d'orientation d'axe c de 80 % ou moins, tel que déterminé par un procédé de Lotgering.
(JA) 反りの発生が抑制された複合基板を提供する。本発明の実施形態による複合基板は、支持基板と、前記支持基板の上方に配置される圧電膜と、を有し、前記圧電膜は、Ｌｏｔｇｅｒｉｎｇ法により求められるｃ軸配向度が８０％以下の多結晶体で構成される。
