(EN) Provided is a workpiece processing method in which a workpiece such as a wafer is processed in a state of a layered body obtained by fixing the workpiece to a support body via a temporary fixing material, wherein the workpiece such as a wafer can be stably peeled away from the layered body with a relatively simple process such as mechanical peeling. The workpiece processing method comprises: a step (1) for layering a support body (A), a temporary fixing material (B), and a workpiece (C) positioned on a surface of the temporary fixing material (B) on the side opposite the support body (A); a step (2) for subjecting the workpiece (C) to at least one processing selected from heat processing, mechanical processing, wet processing, and laser processing; and a step (3) for separating the workpiece (C) from a layered body (D) which includes the processed workpiece (C). The ratio (P2/P1) of a 10° peel strength P1 between the support body (A)/an adhesive layer (B) and a 10° peel strength P2 between the adhesive layer (B)/the workpiece (C) is at least 1.1, the 10° peel strength being measured by maintaining the angle formed between the peeled layers at 10°.
(FR) L'invention concerne un procédé de traitement de pièce à travailler dans lequel une pièce à travailler telle qu'une tranche est traitée dans un état d'un corps stratifié obtenu par fixation de la pièce à travailler à un corps de support par l'intermédiaire d'un matériau de fixation temporaire, la pièce à travailler telle qu'une tranche pouvant être décollée de manière stable du corps stratifié au moyen d'un procédé relativement simple tel qu'un pelage mécanique. Le procédé de traitement de pièce à travailler comprend : une étape (1) permettant de stratifier un corps de support (A), un matériau de fixation temporaire (B), et une pièce à travailler (C) positionnée sur une surface du matériau de fixation temporaire (B) sur le côté opposé au corps de support (A) ; une étape (2) permettant de soumettre la pièce à travailler (C) à au moins un traitement choisi parmi le traitement thermique, le traitement mécanique, le traitement humide et le traitement au laser ; et une étape (3) permettant de séparer la pièce à travailler (C) d'un corps stratifié (D) qui comprend la pièce à travailler (C) traitée. Le rapport (P2/P1) d'une résistance au pelage à 10° P1 entre le corps de support (A)/une couche adhésive (B) et une résistance au pelage à 10° P2 entre la couche adhésive (B)/la pièce à travailler (C) est d'au moins 1,1, la résistance au pelage à 10° étant mesurée en maintenant l'angle formé entre les couches pelées à 10°.
(JA) 仮止め材を介してウエハ等のワークを支持体に固定した積層体の状態で処理を行うワークの処理方法であって、機械剥離等の比較的簡単なプロセスでウエハ等のワークを積層体から安定的に剥離することができる処理方法を提供する。該課題は、支持体（Ａ）、仮止め材（Ｂ）、及び仮止め材（Ｂ）の支持体（Ａ）側とは反対面に位置するワーク（Ｃ）を積層する工程（１）、ワーク（Ｃ）を、熱処理、機械加工処理、ウェット処理、及びレーザー加工処理から選ばれる少なくとも一つの処理に供する工程（２）、並びに当該処理後のワーク（Ｃ）を有する積層体（Ｄ）から、ワーク（Ｃ）を分離する工程（３）、を有するワークの処理方法であって、それぞれ剥離された層同士がなす角度を１０°に保って測定した、支持体（Ａ）／粘接着層（Ｂ）間の１０°ピール強度Ｐ１と、粘接着層（Ｂ）／ワーク（Ｃ）間の１０°ピール強度Ｐ２との比、Ｐ２／Ｐ１が、１．１以上である、上記ワークの処理方法、によって解決される。
