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1. WO2022201478 - 走査型プローブ顕微鏡、試料観察加工システムおよび電気特性評価装置

公開番号 WO/2022/201478
公開日 29.09.2022
国際出願番号 PCT/JP2021/012775
国際出願日 26.03.2021
IPC
G01Q 80/00 2010.1
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
80SPMを除く走査プローブ技術の応用
CPC
G01Q 80/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
80Applications, other than SPM, of scanning-probe techniques
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 相蘇 亨 AISO Toru
  • 竹内 秀一 TAKEUCHI Shuichi
  • 鹿倉 良晃 SHIKAKURA Yoshiteru
代理人
  • ポレール弁理士法人 POLAIRE I.P.C.
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE, SAMPLE OBSERVATION AND TREATMENT SYSTEM, AND ELECTRICAL-CHARACTERISTICS EVALUATION DEVICE
(FR) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE, SYSTÈME D'OBSERVATION ET DE TRAITEMENT D'ÉCHANTILLON ET DISPOSITIF D'ÉVALUATION DE CARACTÉRISTIQUES ÉLECTRIQUES
(JA) 走査型プローブ顕微鏡、試料観察加工システムおよび電気特性評価装置
要約
(EN) With the purpose of improving the visibility of markers even in wide-region, high-speed observation by means of a magnifying observation and treatment device, a scanning probe microscope according to the present invention disposes markers in the periphery centered at a region of interest such that the markers match the observation visual field aspect ratio and the observation angle of the magnifying observation and treatment device. Furthermore, in one example, the markers are formed of multi-line scratches in order to enhance edge contrast.
(FR) Dans le but d'améliorer la visibilité de marqueurs dans une observation à grande vitesse englobant une vaste région au moyen d'un dispositif d'observation et de traitement grossissant, la présente invention concerne un microscope-sonde à balayage qui dispose des marqueurs dans la périphérie centrée au niveau d'une région d'intérêt, de telle sorte que les marqueurs correspondent au rapport d'aspect du champ visuel d'observation et à l'angle d'observation du dispositif d'observation et de traitement grossissant. De plus, dans un exemple, les marqueurs sont constitués de rayures à lignes multiples afin d'améliorer le contraste des bords.
(JA) 走査型プローブ顕微鏡は、拡大観察加工装置による広域かつ高速の観察でもマーカーの視認性を向上させることを目的とし、関心領域を中心とした周囲に、拡大観察加工装置の観察視野アスペクト比、及び観察角度と一致するようにマーカーを配置する。さらに、そのマーカーは、エッジコントラストを強調するために、一例では、多重線スクラッチ痕によって形成する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報