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1. WO2022097386 - 炭化珪素半導体装置及び炭化珪素半導体装置の製造方法

公開番号 WO/2022/097386
公開日 12.05.2022
国際出願番号 PCT/JP2021/035303
国際出願日 27.09.2021
IPC
H01L 21/301 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
301半導体本体を別個の部品に細分割するため,例.分離する
H01L 29/06 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部
02半導体本体
06半導体本体の形状に特徴のあるもの;半導体領域の形状,相対的な大きさまたは配列に特徴のあるもの
H01L 29/78 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部
66半導体装置の型
68整流,増幅またはスイッチされる電流を流さない電極に電流のみまたは電位のみを与えることにより制御できるもの
76ユニポーラ装置
772電界効果トランジスタ
78絶縁ゲートによって生じる電界効果を有するもの
H01L 29/12 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
29整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される半導体装置であり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合空乏層またはキャリア集中層,を有するコンデンサーまたは抵抗器;半導体本体または電極の細部
02半導体本体
12構成材料に特徴のあるもの
H01L 21/336 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
334ユニポーラ型の装置の製造のための多段階工程
335電界効果トランジスタ
336絶縁ゲートを有するもの
出願人
  • 住友電気工業株式会社 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 堀井 拓 HORII, Taku
代理人
  • 伊東 忠重 ITOH, Tadashige
  • 伊東 忠彦 ITOH, Tadahiko
優先権情報
2020-18584906.11.2020JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICE
(FR) DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS AU CARBURE DE SILICIUM ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS AU CARBURE DE SILICIUM
(JA) 炭化珪素半導体装置及び炭化珪素半導体装置の製造方法
要約
(EN) This silicon carbide semiconductor device is provided with a silicon carbide substrate which has a first main surface and a second main surface that is on the reverse side of the first main surface. The silicon carbide substrate has an end face which connects the first main surface and the second main surface to each other; and the end face comprises an inclined surface which is inclined to the second main surface, while being continued from the boundary with the second main surface.
(FR) La présente invention porte sur un dispositif à semi-conducteur au carbure de silicium, comprenant un substrat de carbure de silicium qui présente une première surface principale et une seconde surface principale qui est au verso de la première surface principale. Le substrat de carbure de silicium a une face d'extrémité qui relie la première surface principale et la seconde surface principale l'une à l'autre; et la face d'extrémité comprend une surface inclinée qui est inclinée vers la seconde surface principale, tout en se poursuivant à partir de la limite avec la seconde surface principale.
(JA) 炭化珪素半導体装置は、第1主面と、前記第1主面と反対側の第2主面とを有する炭化珪素基板を備え、前記炭化珪素基板は、前記第1主面と前記第2主面とをつなぐ端面を有し、前記端面は、前記第2主面との境界から連続し、前記第2主面に対して傾斜した傾斜面を含む。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報