(EN) A clamp jig according to the present disclosure includes: a strut part; a grip part that is positioned on one end of the strut part and that is for gripping the outer periphery of a substrate; and a base part that is positioned on the other end of the strut part and that is for supporting the strut part. At least the base part contains a ceramic material the main component of which is silicon carbide. In the base part, the amount of carbon present in the upper-side main surface is less than the amount of carbon present in sections other than the upper-side main surface.
(FR) Un dispositif de serrage selon la présente invention comprend une partie d'appui, une partie de préhension positionnée sur une extrémité de la partie d'appui pour saisir la périphérie extérieure d'un substrat, et une partie de base positionnée sur l'autre extrémité de la partie d'appui pour supporter la partie d'appui. Au moins la partie de base contient un matériau céramique dont le composant principal est du carbure de silicium. Dans la partie de base, la quantité de carbone présente dans la surface principale côté supérieur est inférieure à la quantité de carbone présente dans des sections autres que la surface principale côté supérieur.
(JA) 本開示に係るクランプ用治具は、支柱部と、支柱部の一方の端部に位置しており、基板の外周部を把持するための把持部と、支柱部の他方の端部に位置しており、支柱部を支持するための基部とを含む。少なくとも基部は、炭化珪素を主成分とするセラミックスを含む。基部において、上側主面に存在する炭素は、上側主面以外の部分に存在する炭素よりも少ない。