(EN) A warpage estimation device for estimating the warpage of a substrate, comprising: an acquisition unit for acquiring a captured image of one surface of a substrate under estimation; a calculation unit for calculating the rate of change, in the radial direction of the substrate, of the pixel values of the captured image of the one surface of the substrate under estimation; and an estimation unit for estimating the warpage of the substrate under estimation on the basis of the calculation result of the calculation unit and a predetermined correlation between the warpage of a substrate and the rate of change, in the radial direction of the substrate, of the pixel values of a captured image of the one surface of the substrate.
(FR) Dispositif d'estimation de gauchissements, permettant d'estimer le gauchissement d'un substrat, comprenant : une unité d'acquisition, permettant d'acquérir une image capturée d'une surface d'un substrat en cours d'estimation ; une unité de calcul, permettant de calculer le taux de variation, selon la direction radiale du substrat, des valeurs de pixels de l'image capturée de la surface du substrat en cours d'estimation ; et une unité d'estimation, permettant d'estimer le gauchissement du substrat en cours d'estimation selon le résultat de calcul de l'unité de calcul et selon une corrélation prédéterminée entre le gauchissement d'un substrat et le taux de variation, selon la direction radiale du substrat, des valeurs de pixels d'une image capturée de la surface du substrat.
(JA) 基板の反り量を推定する反り量推定装置であって、推定対象基板の一の面の撮像画像を取得する取得部と、前記推定対象基板の前記一の面の撮像画像における、基板径方向にかかる画素値の変化率の算出を行う算出部と、予め求められた、基板の前記一の面の撮像画像における基板径方向にかかる画素値の変化率と基板の反り量との相関関係と、前記算出部の算出結果と、に基づいて、前記推定対象基板の反り量の推定を行う推定部と、を備える。
