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1. WO2022091769 - 光検出装置、構造体の製造方法、および光検出装置の製造方法

公開番号 WO/2022/091769
公開日 05.05.2022
国際出願番号 PCT/JP2021/037711
国際出願日 12.10.2021
IPC
H01L 27/146 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
271つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
14赤外線,可視光,短波長の電磁波または粒子線輻射に感応する半導体構成部品で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御するかのどちらかに特に適用されるもの
144輻射線によって制御される装置
146固体撮像装置構造
G01J 3/26 2006.1
G物理学
01測定;試験
J赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
12スペクトルの発生;モノクロメータ
26多重反射によるもの,例.ファブリーペロー干渉計,可変干渉フィルター
G01J 3/36 2006.1
G物理学
01測定;試験
J赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
28スペクトルの調査
30スペクトル上で直接スペクトル線強度を測定するもの
36別々の検出器によるスペクトル中の2以上のバンドの調査
G02B 1/11 2015.1
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
1使用物質によって特徴づけられた光学要素;光学要素のための光学的コーティング
10光学要素への塗布または表面処理によって作られた光学的コーティング
11反射防止コーティング
G02B 5/20 2006.1
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
5レンズ以外の光学要素
20フィルター
G02B 5/28 2006.1
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
5レンズ以外の光学要素
20フィルター
28干渉フィルター
CPC
G01J 3/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
12Generating the spectrum; Monochromators
26using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
G01J 3/36
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
30Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
36Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
G02B 1/11
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
1Optical elements characterised by the material of which they are made
10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
11Anti-reflection coatings
G02B 5/20
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
20Filters
G02B 5/28
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
20Filters
28Interference filters
H01L 27/146
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
27Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
14including semiconductor components sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
144Devices controlled by radiation
146Imager structures
出願人
  • パナソニックIPマネジメント株式会社 PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 山岡 義和 YAMAOKA Yoshikazu
  • 八子 基樹 YAKO Motoki
  • 石川 篤 ISHIKAWA Atsushi
  • 細川 誓 HOSOKAWA Chikai
  • 平澤 拓 HIRASAWA Taku
代理人
  • 鎌田 健司 KAMATA Kenji
  • 野村 幸一 NOMURA Koichi
優先権情報
2020-18211030.10.2020JP
2021-15597224.09.2021JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PHOTODETECTOR DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING STRUCTURE, AND METHOD FOR MANUFACTURING PHOTODETECTOR DEVICE
(FR) DISPOSITIF PHOTODÉTECTEUR, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF PHOTODÉTECTEUR
(JA) 光検出装置、構造体の製造方法、および光検出装置の製造方法
要約
(EN) A photodetector device (300) is provided with: a filter array (10) comprising a plurality of filters each having a light input surface and a light exit surface and which are two-dimensionally arrayed, the plurality of filters including a plurality of types of filters having mutually different transmission spectra; and an image sensor (60) having a photodetection surface opposing the light exit surfaces and comprising a plurality of photodetector elements two-dimensionally arrayed along the photodetection surface. The distance between the light exit surfaces and the photodetection surface is different for each of the filters.
(FR) Un dispositif photodétecteur (300) est pourvu : d'un réseau de filtres (10) comprenant une pluralité de filtres présentant chacun une surface d'entrée de lumière et une surface de sortie de lumière et qui sont disposés en réseau bidimensionnel, la pluralité de filtres comprenant une pluralité de types de filtres ayant des spectres de transmission mutuellement différents; et d'un capteur d'image (60) présentant une surface de photodétection opposée aux surfaces de sortie de lumière et comprenant une pluralité d'éléments photodétecteurs disposés en réseau bidimensionnel le long de la surface de photodétection. La distance entre les surfaces de sortie de lumière et la surface de photodétection est différente pour chacun des filtres.
(JA) 光検出装置(300)は、各々が光入射面および光出射面を有し、2次元的に配列された複数のフィルタを含むフィルタアレイ(10)であって、前記複数のフィルタは互いに異なる透過スペクトルを有する複数種類のフィルタを含む、フィルタアレイ(10)と、前記光出射面に対向する光検出面を有するイメージセンサ(60)であって、前記光検出面に沿って2次元的に配列された複数の光検出素子を備えるイメージセンサ(60)と、を備え、前記光出射面と前記光検出面との距離が、前記フィルタごとに異なっている。
関連特許文献
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