(EN) This method for displaying substrate positioning data has: a setting step for setting each of a transfer parameter that determines at least the positioning of a substrate in a plan for mounting on a substrate-holding implement, and carrier information stored by the substrate that is planned to be mounted on the substrate-holding implement; a creation step for creating, on the basis of the set transfer parameter and carrier information, substrate positioning data for a case in which the substrate is mounted on the substrate-holding implement; and a display step for displaying data that indicates the positioning of the substrate at least in a state in which the substrate is mounted on the substrate-holding implement when displaying the substrate positioning data.
(FR) La présente invention concerne un procédé d'affichage de données de positionnement de substrat qui possède : une étape de réglage pour régler chacun d'un paramètre de transfert qui détermine au moins le positionnement d'un substrat dans un plan pour le montage sur un outil de support de substrat, et des informations de porteuse stockées par le substrat qui est prévu pour être monté sur l'outil de support de substrat ; une étape de création pour créer, sur la base du paramètre de transfert défini et des informations de porteuse, des données de positionnement de substrat pour un cas dans lequel le substrat est monté sur l'outil de support de substrat ; et une étape d'affichage pour afficher des données qui indiquent le positionnement du substrat au moins dans un état dans lequel le substrat est monté sur l'outil de support de substrat lors de l'affichage des données de positionnement de substrat.
(JA) 基板配置データの表示方法は、基板保持具に装填する予定の少なくとも基板の配置を決定する移載パラメータと、前記基板保持具に装填される予定の前記基板が収納されるキャリア情報をそれぞれ設定させる設定工程と、該設定された前記移載パラメータ、前記キャリア情報に基づいて、前記基板を前記基板保持具に装填させた場合の基板配置データを作成する作成工程と、前記基板配置データを表示する際、少なくとも前記基板が前記基板保持具に装填された状態の前記基板の配置を示すデータを表示する表示工程と、を有する。