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1. WO2022059710 - 欠陥検査装置

公開番号 WO/2022/059710
公開日 24.03.2022
国際出願番号 PCT/JP2021/033951
国際出願日 15.09.2021
IPC
G01N 29/06 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
29超音波,音波または亜音波の使用による材料の調査または分析;超音波または音波を物体内に伝播させることによる物体内部の可視化
04固体の分析
06内部の可視化,例.音波顕微鏡検査
G01N 21/88 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
CPC
G01N 21/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
G01N 29/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
29Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
04Analysing solids
06Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
出願人
  • 株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 三品 尚登 MISHINA, Naoto
  • 岡本 弘文 OKAMOTO, Hirofumi
  • 田中 隆志 TANAKA, Takashi
  • 杉本 賢 SUGIMOTO, Satoru
  • 早川 昌志 HAYAKAWA, Masashi
  • 畠堀 貴秀 HATAHORI, Takahide
  • 堀川 浩司 HORIKAWA, Hiroshi
代理人
  • 宮園 博一 MIYAZONO, Hirokazu
優先権情報
2020-15714018.09.2020JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) DEFECT INSPECTING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUT
(JA) 欠陥検査装置
要約
(EN) This defect inspecting device (100) is provided with an image capturing unit (image sensor 35) which captures an image of an inspection target 7, and a display unit (6) which displays an image based on the image captured by the image capturing unit. Further, the defect inspecting device (100) is provided with a control unit (4) which accepts a setting of a marking (64) on a predetermined region of interest (S) on an image (still image 61) displayed on the display unit (6). Furthermore, the control unit (4) is configured to inspect a defect in the inspection target (7) on the basis of the image captured by the image capturing unit, and to superimpose an image of the marking (64) in a position corresponding to the predetermined region of interest (S), in an inspection result image (overlay image 65) displayed on the display unit (6).
(FR) Le dispositif d'inspection de défaut (100) selon l'invention comprend une unité de capture d'image (capteur d'image 35), qui capture une image d'une cible d'inspection (7), et une unité d'affichage (6) qui affiche une image sur la base de l'image capturée par l'unité de capture d'image. De plus, le dispositif d'inspection de défaut (100) comprend une unité de commande (4) qui accepte un paramétrage d'un marquage (64) sur une région d'intérêt prédéfinie (S) d'une image (image fixe 61) affichée sur l'unité d'affichage (6). En outre, l'unité de commande (4) est configurée pour inspecter un défaut dans la cible d'inspection (7) sur la base de l'image capturée par l'unité de capture d'image, et pour superposer une image du marquage (64) dans une position correspondant à la région d'intérêt prédéfinie (S), dans une image de résultat d'inspection (image superposée 65) affichée sur l'unité d'affichage (6).
(JA) この欠陥検査装置(100)は、検査対象7を撮像する撮像部(イメージセンサ35)と、撮像部により撮像された画像に基づく画像を表示する表示部(6)と、を備える。また、欠陥検査装置(100)は、表示部(6)に表示された画像(静止画像61)上の所定の関心領域(S)へのマーキング(64)の設定を受け付ける制御部(4)を備える。そして、制御部(4)は、撮像部により撮像された画像に基づいて検査対象(7)の欠陥を検査するとともに、表示部(6)に表示された検査結果の画像(オーバレイ画像65)の所定の関心領域(S)に対応する位置に、マーキング(64)の画像を重畳させるように構成されている。
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