(EN) This external resonance type laser module comprises: a quantum cascade laser element; a MEMS diffraction grating; a support plate having a first surface on which the quantum cascade laser element and MEMS diffraction grating are disposed, and a second surface on the reverse side from the first surface; and a cooling element disposed on the second surface side of the support plate so as to overlap the quantum cascade laser element and the MEMS diffraction grating. A recessed section, which is recessed in the direction running from the second surface toward the first surface, is provided in a region of the second surface of the support plate where at least the quantum cascade laser element and the MEMS diffraction grating overlap when viewed from the thickness direction. At least a portion of the support plate side of the cooling element is inserted into the recessed section.
(FR) L'invention concerne un module laser du type à résonance externe comprenant : un élément laser à cascade quantique ; un réseau de diffraction de MEMS ; une plaque de support ayant une première surface sur laquelle sont disposés l'élément laser à cascade quantique et le réseau de diffraction de MEMS et une seconde surface sur le côté inverse par rapport à la première surface ; et un élément de refroidissement disposé sur le côté seconde surface de la plaque de support de manière à chevaucher l'élément laser à cascade quantique et le réseau de diffraction de MEMS. Une section montée en retrait, qui est en retrait dans la direction allant de la seconde surface vers la première surface, est ménagée dans une région de la seconde surface de la plaque de support où au moins l'élément laser à cascade quantique et le réseau de diffraction de MEMS se chevauchent lorsqu'ils sont observés depuis la direction de l'épaisseur. Au moins une partie du côté plaque de support de l'élément de refroidissement est insérée dans la section montée en retrait.
(JA) 外部共振型レーザモジュールは、量子カスケードレーザ素子と、ＭＥＭＳ回折格子と、量子カスケードレーザ素子及びＭＥＭＳ回折格子が配置される第１面、及び第１面とは反対側の第２面を有する支持プレートと、支持プレートの第２面側において、量子カスケードレーザ素子及びＭＥＭＳ回折格子と重なるように配置された冷却素子と、を備える。支持プレートの第２面のうち、厚さ方向から見た場合に少なくとも量子カスケードレーザ素子及びＭＥＭＳ回折格子と重なる領域には、第２面から第１面へと向かう方向に窪む凹部が設けられている。冷却素子における支持プレート側の少なくとも一部は、凹部内に挿入されている。
