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1. WO2022059268 - 外部共振型レーザモジュール

公開番号 WO/2022/059268
公開日 24.03.2022
国際出願番号 PCT/JP2021/021611
国際出願日 07.06.2021
IPC
H01S 5/022 2021.1
H電気
01基本的電気素子
S光を増幅または生成するために,放射の誘導放出による光増幅を用いた装置;光領域以外の電磁放射の誘導放出を用いた装置
5半導体レーザ
02レーザ作用にとって本質的ではない構造的な細部または構成
022マウント;ハウジング
H01S 5/024 2006.1
H電気
01基本的電気素子
S光を増幅または生成するために,放射の誘導放出による光増幅を用いた装置;光領域以外の電磁放射の誘導放出を用いた装置
5半導体レーザ
02レーザ作用にとって本質的ではない構造的な細部または構成
024冷却装置
H01S 5/14 2006.1
H電気
01基本的電気素子
S光を増幅または生成するために,放射の誘導放出による光増幅を用いた装置;光領域以外の電磁放射の誘導放出を用いた装置
5半導体レーザ
10光共振器の構造または形状
14外部共振器型レーザ
CPC
H01S 5/022
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
5Semiconductor lasers
02Structural details or components not essential to laser action
022Mountings; Housings
H01S 5/024
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
5Semiconductor lasers
02Structural details or components not essential to laser action
024Arrangements for thermal management
H01S 5/14
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
5Semiconductor lasers
10Construction or shape of the optical resonator ; , e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
14External cavity lasers
出願人
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
発明者
  • 杉山 厚志 SUGIYAMA Atsushi
  • 道垣内 龍男 DOUGAKIUCHI Tatsuo
代理人
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
優先権情報
2020-15450815.09.2020JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) EXTERNAL RESONANCE TYPE LASER MODULE
(FR) MODULE LASER DU TYPE À RÉSONANCE EXTERNE
(JA) 外部共振型レーザモジュール
要約
(EN) This external resonance type laser module comprises: a quantum cascade laser element; a MEMS diffraction grating; a support plate having a first surface on which the quantum cascade laser element and MEMS diffraction grating are disposed, and a second surface on the reverse side from the first surface; and a cooling element disposed on the second surface side of the support plate so as to overlap the quantum cascade laser element and the MEMS diffraction grating. A recessed section, which is recessed in the direction running from the second surface toward the first surface, is provided in a region of the second surface of the support plate where at least the quantum cascade laser element and the MEMS diffraction grating overlap when viewed from the thickness direction. At least a portion of the support plate side of the cooling element is inserted into the recessed section.
(FR) L'invention concerne un module laser du type à résonance externe comprenant : un élément laser à cascade quantique ; un réseau de diffraction de MEMS ; une plaque de support ayant une première surface sur laquelle sont disposés l'élément laser à cascade quantique et le réseau de diffraction de MEMS et une seconde surface sur le côté inverse par rapport à la première surface ; et un élément de refroidissement disposé sur le côté seconde surface de la plaque de support de manière à chevaucher l'élément laser à cascade quantique et le réseau de diffraction de MEMS. Une section montée en retrait, qui est en retrait dans la direction allant de la seconde surface vers la première surface, est ménagée dans une région de la seconde surface de la plaque de support où au moins l'élément laser à cascade quantique et le réseau de diffraction de MEMS se chevauchent lorsqu'ils sont observés depuis la direction de l'épaisseur. Au moins une partie du côté plaque de support de l'élément de refroidissement est insérée dans la section montée en retrait.
(JA) 外部共振型レーザモジュールは、量子カスケードレーザ素子と、MEMS回折格子と、量子カスケードレーザ素子及びMEMS回折格子が配置される第1面、及び第1面とは反対側の第2面を有する支持プレートと、支持プレートの第2面側において、量子カスケードレーザ素子及びMEMS回折格子と重なるように配置された冷却素子と、を備える。支持プレートの第2面のうち、厚さ方向から見た場合に少なくとも量子カスケードレーザ素子及びMEMS回折格子と重なる領域には、第2面から第1面へと向かう方向に窪む凹部が設けられている。冷却素子における支持プレート側の少なくとも一部は、凹部内に挿入されている。
関連特許文献
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