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1. WO2022054305 - 観察装置および観察方法

公開番号 WO/2022/054305
公開日 17.03.2022
国際出願番号 PCT/JP2021/002099
国際出願日 21.01.2021
IPC
G02B 21/00 2006.1
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
21顕微鏡
G02B 21/36 2006.1
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
21顕微鏡
36写真撮影用または投影用に構成されたもの
G01N 21/17 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
17調査される材料の特性に応じて入射光が変調されるシステム
CPC
G01N 21/17
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
G02B 21/00
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21Microscopes
G02B 21/36
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21Microscopes
36arranged for photographic purposes or projection purposes
出願人
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
発明者
  • 安彦 修 YASUHIKO Osamu
  • 竹内 康造 TAKEUCHI Kozo
  • 山田 秀直 YAMADA Hidenao
代理人
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
優先権情報
2020-15325211.09.2020JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) OBSERVATION DEVICE AND OBSERVATION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'OBSERVATION ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION
(JA) 観察装置および観察方法
要約
(EN) An observation device 1A comprises a light source 11, a mirror 22, a condensing lens 24, an objective lens 25, a beam splitter 41, an imaging unit 43, and an analysis unit 50. The analysis unit 50 comprises an interference intensity image acquisition unit 51, a first complex amplitude image generation unit 52, a second complex amplitude image generation unit 53, a two-dimensional phase image generation unit 54, a three-dimensional phase image generation unit 55, and a refractive index distribution calculation unit 56. The analysis unit 50 changes the orientation of the reflective surface of the mirror 22 so as to irradiate an observation object S with light from each of a plurality of light irradiation directions, acquires from the imaging unit 43 interference intensity images at a reference position for the respective light irradiation directions, and performs a required process on the basis of the interference intensity images so as to obtain a three-dimensional refractive index distribution of the observation object. This makes it possible to achieve three-dimensional refractive index tomography in which the effect of multiple-scattering light is reduced.
(FR) La présente invention concerne un dispositif d'observation (1A) qui comprend une source de lumière (11), un miroir (22), une lentille condensatrice (24), une lentille d'objectif (25), un diviseur de faisceau (41), une unité d'imagerie (43) et une unité d'analyse (50). L'unité d'analyse (50) comprend une unité d'acquisition d'image d'intensité d'interférence (51), une première unité de génération d'image d'amplitude complexe (52), une seconde unité de génération d'image d'amplitude complexe (53), une unité de génération d'image de phase bidimensionnelle (54), une unité de génération d'image de phase tridimensionnelle (55) et une unité de calcul de distribution d'indice de réfraction (56). L'unité d'analyse (50) modifie l'orientation de la surface réfléchissante du miroir (22) de façon à soumettre un objet d'observation S à la lumière provenant de chaque direction d'une pluralité de directions de rayonnement de lumière, acquiert à partir de l'unité d'imagerie (43) des images d'intensité d'interférence à une position de référence pour les directions de rayonnement de lumière respectives et effectue un processus requis sur la base des images d'intensité d'interférence de façon à obtenir une distribution tridimensionnelle d'indice de réfraction de l'objet d'observation. Cela permet d'obtenir une tomographie tridimensionnelle d'indice de réfraction dans laquelle l'effet de lumière à diffusion multiple est réduit.
(JA) 観察装置1Aは、光源11、ミラー22、コンデンサレンズ24、対物レンズ25、ビームスプリッタ41、撮像部43および解析部50を備える。解析部50は、干渉強度画像取得部51、第1複素振幅画像生成部52、第2複素振幅画像生成部53、2次元位相画像生成部54、3次元位相画像生成部55および屈折率分布算出部56を備える。解析部50は、ミラー22の反射面の方位を変化させることにより観察対象物Sに対して複数の光照射方向それぞれに沿って光を照射させ、複数の光照射方向それぞれについて基準位置における干渉強度画像を撮像部43から取得し、これらの干渉強度画像に基づいて所要の処理をすることにより観察対象物の3次元屈折率分布を求める。これにより、多重散乱光の影響が低減された3次元屈折率トモグラフィを実現することができる。
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