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1. WO2022050204 - ロボット及びハンド部姿勢調整方法

公開番号 WO/2022/050204
公開日 10.03.2022
国際出願番号 PCT/JP2021/031630
国際出願日 29.08.2021
IPC
B25J 9/06 2006.1
B処理操作;運輸
25手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
Jマニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
9プログラム制御マニプレータ
06多関節の腕により特徴づけられるもの
H01L 21/677 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
CPC
B25J 9/06
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
9Programme-controlled manipulators
06characterised by multi-articulated arms
H01L 21/677
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
出願人
  • 川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP]
発明者
  • 清水 一平 SHIMIZU, Ippei
  • 岡田 拓之 OKADA, Hiroyuki
代理人
  • 桂川 直己 KATSURAGAWA, Naoki
優先権情報
2020-14888704.09.2020JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ROBOT AND HAND PORTION POSTURE ADJUSTMENT METHOD
(FR) ROBOT ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE POSTURE DE PARTIE MAIN
(JA) ロボット及びハンド部姿勢調整方法
要約
(EN) This robot for transporting a substrate comprises: an arm portion; a hand portion; a substrate posture acquisition unit; a hand posture adjustment unit; and a control unit. The hand portion is provided to the arm portion, and transports the substrate while holding the substrate. The substrate posture acquisition unit acquires information on a posture of a substrate-to-be-transported, which is the substrate to be transported. The hand posture adjustment unit can adjust a posture of the hand portion with respect to the substrate-to-be-transported. The control unit controls operations of the arm portion, the hand portion, and the hand posture adjustment unit. The control unit uses the hand posture adjustment unit to adjust the posture of the hand portion for performing work to extract the substrate-to-be-transported, on the basis of the information on the posture of the substrate-to-be-transported.
(FR) La présente invention concerne un robot pour transporter un substrat, ledit robot comprenant : une partie bras ; une partie main ; une unité d'acquisition de posture de substrat ; une unité de réglage de posture de main ; et une unité de commande. La partie main est disposée sur la partie bras, et transporte le substrat tout en maintenant le substrat. L'unité d'acquisition de posture de substrat acquiert des informations sur une posture d'un substrat à transporter, qui est le substrat à transporter. L'unité de réglage de posture de main peut régler une posture de la partie main par rapport au substrat à transporter. L'unité de commande commande les actionnements de la partie bras, de la partie main et de l'unité de réglage de posture de main. L'unité de commande utilise l'unité de réglage de posture de main pour régler la posture de la partie main pour effectuer un travail pour extraire le substrat à transporter, sur la base des informations sur la posture du substrat à transporter.
(JA) 基板を搬送するためのロボットは、アーム部と、ハンド部と、基板姿勢取得部と、ハンド姿勢調整部と、制御部と、を備える。前記ハンド部は、前記アーム部に設けられ、前記基板を保持して搬送する。前記基板姿勢取得部は、搬送予定の前記基板である搬送予定基板の姿勢に関する情報を取得する。前記ハンド姿勢調整部は、前記搬送予定基板に対する前記ハンド部の姿勢を調整可能である。前記制御部は、前記アーム部、前記ハンド部、及び前記ハンド姿勢調整部の動作を制御する。前記制御部は、前記搬送予定基板に対して取出し作業を行う前記ハンド部の姿勢を、前記搬送予定基板の姿勢に関する情報に基づいて、前記ハンド姿勢調整部を用いて調整する。
関連特許文献
国際事務局に記録されている最新の書誌情報