(EN) An inspection device 1A comprises: a stage 2 on which an inspection subject S is placed; a beam source 3 that generates a beam L applied to the inspection subject S; a photodetector 4 that detects light L2 generated at the inspection subject S by application of the beam L; an optical system 5 that guides the beam L to the inspection subject S on the stage 2 and also guides the light L2 generated at the inspection subject S to the photodetector 5; and a processing unit 21 that transforms unidirectional data regarding unidirectional light of the light L2 detected by the photodetector 4, on the basis of omnidirectional data regarding omnidirectional light generated from the inspection subject S.
(FR) Dispositif d'inspection 1A comprenant : un étage 2 sur lequel un sujet d'inspection S est placé ; une source de faisceau 3 qui génère un faisceau L appliqué au sujet d'inspection S ; un photodétecteur 4 qui détecte la lumière L2 générée au niveau du sujet d'inspection S par application du faisceau L ; un système optique 5 qui guide le faisceau L vers le sujet d'inspection S sur l'étage 2 et guide également la lumière L2 générée au niveau du sujet d'inspection S vers le photodétecteur 5 ; et une unité de traitement 21 qui transforme des données unidirectionnelles concernant une lumière unidirectionnelle de la lumière L2 détectée par le photodétecteur 4, sur la base de données omnidirectionnelles concernant la lumière omnidirectionnelle générée par le sujet d'inspection S.
(JA) 検査装置１Ａは、検査対象物Ｓが載置されるステージ２と、検査対象物Ｓに照射するビームＬを生成するビーム源３と、ビームＬの照射により検査対象物Ｓで発生する光Ｌ２を検出する光検出器４と、ステージ２上の検査対象物ＳにビームＬを導くと共に、検査対象物Ｓで発生した光Ｌ２を光検出器４に導く光学系５と、検査対象物Ｓから発生する全方位の光に関する全方位データに基づいて、光検出器４で検出された光Ｌ２のうちの一方位の光に関する一方位データの変換を行う処理部２１と、を備える。
