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1. WO2022049979 - 検査装置及び検査方法

公開番号 WO/2022/049979
公開日 10.03.2022
国際出願番号 PCT/JP2021/028987
国際出願日 04.08.2021
IPC
G01N 21/62 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
62調査される材料が励起され,それにより光を発しまたは入射光の波長に変化を生ずるシステム
G01N 21/64 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
62調査される材料が励起され,それにより光を発しまたは入射光の波長に変化を生ずるシステム
63光学的励起
64蛍光;燐光
G01N 21/88 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
CPC
G01N 21/62
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
G01N 21/64
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
63optically excited
64Fluorescence; Phosphorescence
G01N 21/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
出願人
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
  • 国立大学法人東北大学 TOHOKU UNIVERSITY [JP]/[JP]
発明者
  • 池村 賢一郎 IKEMURA Kenichiro
  • 小島 一信 KOJIMA Kazunobu
  • 秩父 重英 CHICHIBU Shigefusa
  • 井口 和也 IGUCHI Kazuya
代理人
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
優先権情報
2020-14820603.09.2020JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) 検査装置及び検査方法
要約
(EN) An inspection device 1A comprises: a stage 2 on which an inspection subject S is placed; a beam source 3 that generates a beam L applied to the inspection subject S; a photodetector 4 that detects light L2 generated at the inspection subject S by application of the beam L; an optical system 5 that guides the beam L to the inspection subject S on the stage 2 and also guides the light L2 generated at the inspection subject S to the photodetector 5; and a processing unit 21 that transforms unidirectional data regarding unidirectional light of the light L2 detected by the photodetector 4, on the basis of omnidirectional data regarding omnidirectional light generated from the inspection subject S.
(FR) Dispositif d'inspection 1A comprenant : un étage 2 sur lequel un sujet d'inspection S est placé ; une source de faisceau 3 qui génère un faisceau L appliqué au sujet d'inspection S ; un photodétecteur 4 qui détecte la lumière L2 générée au niveau du sujet d'inspection S par application du faisceau L ; un système optique 5 qui guide le faisceau L vers le sujet d'inspection S sur l'étage 2 et guide également la lumière L2 générée au niveau du sujet d'inspection S vers le photodétecteur 5 ; et une unité de traitement 21 qui transforme des données unidirectionnelles concernant une lumière unidirectionnelle de la lumière L2 détectée par le photodétecteur 4, sur la base de données omnidirectionnelles concernant la lumière omnidirectionnelle générée par le sujet d'inspection S.
(JA) 検査装置1Aは、検査対象物Sが載置されるステージ2と、検査対象物Sに照射するビームLを生成するビーム源3と、ビームLの照射により検査対象物Sで発生する光L2を検出する光検出器4と、ステージ2上の検査対象物SにビームLを導くと共に、検査対象物Sで発生した光L2を光検出器4に導く光学系5と、検査対象物Sから発生する全方位の光に関する全方位データに基づいて、光検出器4で検出された光L2のうちの一方位の光に関する一方位データの変換を行う処理部21と、を備える。
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