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1. WO2022049788 - 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット

公開番号 WO/2022/049788
公開日 10.03.2022
国際出願番号 PCT/JP2020/041031
国際出願日 02.11.2020
IPC
H01L 21/677 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B25J 15/08 2006.1
B処理操作;運輸
25手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
Jマニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
15把持部
08指部材を有するもの
CPC
B25J 15/08
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
15Gripping heads ; and other end effectors
08having finger members
H01L 21/677
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
出願人
  • 川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP]
発明者
  • 清水 一平 SHIMIZU, Ippei
代理人
  • 宮園 博一 MIYAZONO, Hirokazu
優先権情報
2020-14849503.09.2020JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SUBSTRATE HOLDING HAND AND SUBSTRATE CONVEYANCE ROBOT
(FR) MAIN PORTE-SUBSTRAT ET ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット
要約
(EN) This substrate holding hand (1) comprises a sensor support member (50) that supports a plurality of substrate detection sensors (40) and includes a positioning part (51) for collectively positioning the plurality of substrate detection sensors (40) with respect to a plurality of blades (20).
(FR) Cette main porte-substrat (1) comprend un élément de support de capteur (50) qui supporte une pluralité de capteurs de détection de substrat (40) et comprend une partie de positionnement (51) pour positionner collectivement la pluralité de capteurs de détection de substrat (40) par rapport à une pluralité de lames (20).
(JA) この基板保持ハンド(1)は、複数の基板検知センサ(40)を支持するとともに、複数のブレード(20)に対する複数の基板検知センサ(40)の位置決めを一括して行う位置決め部(51)を含むセンサ支持部材(50)とを備える。
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