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1. WO2022004562 - 振動型ジャイロ素子及びこれを備えた角速度センサ

公開番号 WO/2022/004562
公開日 06.01.2022
国際出願番号 PCT/JP2021/024032
国際出願日 24.06.2021
IPC
B81B 3/00 2006.1
B処理操作;運輸
81マイクロ構造技術
Bマイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
H01L 41/047 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02細部
04圧電または電歪素子のもの
047電極
H01L 41/09 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
09電気的入力および機械的出力をもつもの
H01L 41/113 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
113機械的入力および電気的出力をもつもの
G01C 19/5684 2012.1
G物理学
01測定;試験
C距離,水準または方位の測定;測量;航行;ジャイロ計器;写真計量または映像計量
19ジャイロスコープ;振動状態の質量体を用いる回転感知装置;運動状態の質量体を持たない回転感知装置;ジャイロ効果を利用した角速度の測定
56振動状態の質量体を用いる回転感知装置,例.コリオリ力に基づく振動型角速度センサ
567振動の節または波腹の位相シフトを用いるもの
5677本質的に2次元振動する振動体,例.環状に形成された振動体,に関するもの
5684マイクロメカニカル構造を含む装置
出願人
  • 住友精密工業株式会社 SUMITOMO PRECISION PRODUCTS CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 内納 亮平 UCHINO Ryohei
  • 森口 孝文 MORIGUCHI Takafumi
  • 沖元 直樹 OKIMOTO Naoki
代理人
  • 特許業務法人前田特許事務所 MAEDA & PARTNERS
優先権情報
2020-11561103.07.2020JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) VIBRATORY GYRO ELEMENT AND ANGULAR VELOCITY SENSOR COMPRISING SAME
(FR) ÉLÉMENT GYROSCOPIQUE VIBRATOIRE ET CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE COMPRENANT CE DERNIER
(JA) 振動型ジャイロ素子及びこれを備えた角速度センサ
要約
(EN) A vibratory gyro element 100 comprises a fixed part 10, an oscillator 20 having a vibration mode of cos Nθ (N is a natural number of 2 or more), a support part 30, and an electrode 40. The electrode 40 is disposed in each of 4N orientations arranged in the outer circumferential direction of the oscillator 20. The plurality of electrodes 40 include a primary driving electrode PD, a primary pickoff electrode PPO, a secondary pickoff electrode SPO, and a secondary driving electrode SD. The primary pickoff electrode PPO is disposed in the same orientation as the primary driving electrode PD, and the secondary driving electrode SD is disposed in the same orientation as the secondary pickoff electrode SPO.
(FR) Un élément gyroscopique vibratoire (100) comprend une partie fixe (10), un oscillateur (20) présentant un mode de vibration de cos Nθ (N étant un entier naturel de 2 ou plus), une partie de support (30) et une électrode (40). L'électrode (40) est disposée dans chacune de 4N orientations agencées dans la direction circonférentielle externe de l'oscillateur (20). La pluralité d'électrodes (40) comporte une électrode d'entraînement primaire (PD), une électrode de détection primaire (PPO), une électrode de détection secondaire (SPO) et une électrode d'entraînement secondaire (SD). L'électrode de détection primaire (PPO) est disposée dans la même orientation que l'électrode d'entraînement primaire (PD), et l'électrode d'entraînement secondaire (SD) est disposée dans la même orientation que l'électrode de détection secondaire (SPO).
(JA) 振動型ジャイロ素子100は、固定部10とcosNθ(Nは2以上の自然数)の振動モードを有する振動子20と支持部30と電極40とを備えている。振動子20の外周方向に並ぶ4N個の方位に電極40がそれぞれ配置されている。複数の電極40には、一次駆動電極PDと一次検出電極PPOと二次検出電極SPOと二次駆動電極SDと、が含まれる。一次検出電極PPOは、一次駆動電極PDと同じ方位に配置され、二次駆動電極SDは、二次検出電極SPOと同じ方位に配置される。
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