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1. WO2021261286 - プラズマ生成装置

公開番号 WO/2021/261286
公開日 30.12.2021
国際出願番号 PCT/JP2021/022245
国際出願日 11.06.2021
IPC
H05H 1/24 2006.1
H電気
05他に分類されない電気技術
Hプラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1プラズマの生成;プラズマの取扱い
24プラズマの発生
CPC
H05H 1/24
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
出願人
  • 株式会社クメタ製作所 KUMETA MANUFACTURING CO.,LTD. [JP]/[JP]
  • 国立大学法人静岡大学 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION SHIZUOKA UNIVERSITY [JP]/[JP]
発明者
  • 河村 尚寿 KAWAMURA Naohisa
  • 永津 雅章 NAGATSU Masaaki
代理人
  • 居藤 洋之 ITO Hiroyuki
優先権情報
2020-11033826.06.2020JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PLASMA GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE PLASMA
(JA) プラズマ生成装置
要約
(EN) Provided is a plasma generation device capable of suppressing local formation of a main plasma and forming the main plasma in a uniform surface shape. This plasma generation device (100) comprises main discharge dielectric (150) between a first main discharge electrode (110) provided with a first preliminary discharge electrode (120), and a second main discharge electrode (130) provided with a second preliminary discharge electrode (140). The first preliminary discharge electrode (120) is formed in the shape of a long rod in which a conductor (121) is accommodated in a preliminary discharge dielectric (122) made of a glass tube. The first main discharge electrode (110) is composed of a plate-shaped body extending along the first preliminary discharge electrode (120). A groove-shaped preliminary discharge electrode accommodating portion (112) for accommodating the first preliminary discharge electrode (120) in an exposed state is formed on a main electrode facing surface (111) of the first main discharge electrode (110). The main discharge dielectric (150) is composed of a sheet-shaped non-conductor, and is disposed at a position adjacent to the first preliminary discharge electrode (120).
(FR) L'invention concerne un dispositif de génération de plasma capable de supprimer la formation locale d'un plasma principal et de former le plasma principal sous une forme de surface uniforme. Ce dispositif de génération de plasma (100) comprend un diélectrique de décharge principal (150) entre une première électrode de décharge principale (110) pourvue d'une première électrode de décharge préliminaire (120), et une seconde électrode de décharge principale (130) pourvue d'une seconde électrode de décharge préliminaire (140). La première électrode de décharge préliminaire (120) est formée sous la forme d'une tige allongée dans laquelle un conducteur (121) est reçu dans un diélectrique de décharge préliminaire (122) réalisé à partir d'un tube de verre. La première électrode de décharge principale (110) est composée d'un corps en forme de plaque s'étendant le long de la première électrode de décharge préliminaire (120). Une partie de réception d'électrode de décharge préliminaire en forme de rainure (112) destinée à recevoir la première électrode de décharge préliminaire (120) dans un état exposé est formée sur une surface faisant face à l'électrode principale (111) de la première électrode de décharge principale (110). Le diélectrique de décharge principal (150) est composé d'un non conducteur en forme de feuille, et est disposé à une position adjacente à la première électrode de décharge préliminaire (120).
(JA) 主プラズマの局所的な形成を抑えて均一な面状に形成することができるプラズマ生成装置を提供する。 プラズマ生成装置(100)は、第1予備放電電極(120)を備える第1主放電電極(110)と第2予備放電電極(140)を備える第2主放電電極(130)との間に主放電用誘電体(150)を備えている。第1予備放電電極(120)は、導体(121)をガラス管製の予備放電用誘電体(122)内に収容した長尺の棒状に形成されている。第1主放電電極(110)は、第1予備放電電極(120)に沿って延びる板状体で構成されている。第1主放電電極(110)の主電極対向面(111)には、第1予備放電電極(120)を露出した状態で収容する溝状の予備放電電極収容部(112)が形成されている。主放電用誘電体(150)は、シート状の不導体で構成されており、第1予備放電電極(120)に隣接した位置に配置されている。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報