(EN) Provided is a plasma generation device capable of suppressing local formation of a main plasma and forming the main plasma in a uniform surface shape. This plasma generation device (100) comprises main discharge dielectric (150) between a first main discharge electrode (110) provided with a first preliminary discharge electrode (120), and a second main discharge electrode (130) provided with a second preliminary discharge electrode (140). The first preliminary discharge electrode (120) is formed in the shape of a long rod in which a conductor (121) is accommodated in a preliminary discharge dielectric (122) made of a glass tube. The first main discharge electrode (110) is composed of a plate-shaped body extending along the first preliminary discharge electrode (120). A groove-shaped preliminary discharge electrode accommodating portion (112) for accommodating the first preliminary discharge electrode (120) in an exposed state is formed on a main electrode facing surface (111) of the first main discharge electrode (110). The main discharge dielectric (150) is composed of a sheet-shaped non-conductor, and is disposed at a position adjacent to the first preliminary discharge electrode (120).
(FR) L'invention concerne un dispositif de génération de plasma capable de supprimer la formation locale d'un plasma principal et de former le plasma principal sous une forme de surface uniforme. Ce dispositif de génération de plasma (100) comprend un diélectrique de décharge principal (150) entre une première électrode de décharge principale (110) pourvue d'une première électrode de décharge préliminaire (120), et une seconde électrode de décharge principale (130) pourvue d'une seconde électrode de décharge préliminaire (140). La première électrode de décharge préliminaire (120) est formée sous la forme d'une tige allongée dans laquelle un conducteur (121) est reçu dans un diélectrique de décharge préliminaire (122) réalisé à partir d'un tube de verre. La première électrode de décharge principale (110) est composée d'un corps en forme de plaque s'étendant le long de la première électrode de décharge préliminaire (120). Une partie de réception d'électrode de décharge préliminaire en forme de rainure (112) destinée à recevoir la première électrode de décharge préliminaire (120) dans un état exposé est formée sur une surface faisant face à l'électrode principale (111) de la première électrode de décharge principale (110). Le diélectrique de décharge principal (150) est composé d'un non conducteur en forme de feuille, et est disposé à une position adjacente à la première électrode de décharge préliminaire (120).
(JA) 主プラズマの局所的な形成を抑えて均一な面状に形成することができるプラズマ生成装置を提供する。 プラズマ生成装置（１００）は、第１予備放電電極（１２０）を備える第１主放電電極（１１０）と第２予備放電電極（１４０）を備える第２主放電電極（１３０）との間に主放電用誘電体（１５０）を備えている。第１予備放電電極（１２０）は、導体（１２１）をガラス管製の予備放電用誘電体（１２２）内に収容した長尺の棒状に形成されている。第１主放電電極（１１０）は、第１予備放電電極（１２０）に沿って延びる板状体で構成されている。第１主放電電極（１１０）の主電極対向面（１１１）には、第１予備放電電極（１２０）を露出した状態で収容する溝状の予備放電電極収容部（１１２）が形成されている。主放電用誘電体（１５０）は、シート状の不導体で構成されており、第１予備放電電極（１２０）に隣接した位置に配置されている。
