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1. WO2021070947 - MEMS素子および振動発電デバイス

公開番号 WO/2021/070947
公開日 15.04.2021
国際出願番号 PCT/JP2020/038350
国際出願日 09.10.2020
IPC
B81B 3/00 2006.01
B処理操作;運輸
81マイクロ構造技術
Bマイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
H02N 1/00 2006.01
H電気
02電力の発電,変換,配電
N他類に属しない電機
1動くソリッド型静電荷運搬体を用いた静電発電機または電動機
出願人
  • 株式会社鷺宮製作所 SAGINOMIYA SEISAKUSHO, INC. [JP]/[JP]
発明者
  • 芦澤 久幸 ASHIZAWA, Hisayuki
  • 下村 典子 SHIMOMURA, Noriko
代理人
  • 永井 冬紀 NAGAI, Fuyuki
  • 池田 恵一 IKEDA, Keiichi
優先権情報
2019-18715310.10.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) MEMS ELEMENT AND VIBRATION POWER-GENERATING DEVICE
(FR) ÉLÉMENT DE MEMS ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE PUISSANCE DE VIBRATION
(JA) MEMS素子および振動発電デバイス
要約
(EN)
This MEMS element is provided with a base, a movable portion, an elastic portion, and a fixing portion. The elastic portion extends in a direction intersecting with a moving direction of the movable portion, and comprises: a central portion to which a force is applied from the movable portion; one end and another end which are fixed to a fixing portion body; and thin portions provided respectively between the central portion and the one end and between the central portion and the other end, the thin portions being thinner than the central portion, the one end, and the other end.
(FR)
L'invention concerne un élément de MEMS doté d'une base, d'une partie mobile, d'une partie élastique et d'une partie de fixation. La partie élastique s'étend dans une direction croisant une direction de déplacement de la partie mobile et comprend : une partie centrale à laquelle une force est appliquée à partir de la partie mobile ; une extrémité et une autre extrémité qui sont fixées à un corps de partie de fixation ; et des parties minces disposées respectivement entre la partie centrale et ladite extrémité et entre la partie centrale et l'autre extrémité, les parties minces étant plus minces que la partie centrale, la première extrémité et l'autre extrémité.
(JA)
MEMS素子は、ベースと、可動部と、弾性部および固定部を備えており、弾性部は、可動部の移動方向と交差する方向に延在され、可動部の力を受ける中央部と、固定部本体に固定された一端および他端を有し、中央部と前記一端との間、および中央部と他端との間のそれぞれに、中央部、一端および他端より肉厚が薄い薄肉部を有する。
他の公開
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