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1. WO2021066075 - 基板配置支援治具及び基板の製造方法

公開番号 WO/2021/066075
公開日 08.04.2021
国際出願番号 PCT/JP2020/037328
国際出願日 30.09.2020
IPC
B24B 37/28 2012.01
B処理操作;運輸
24研削;研磨
B研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
37ラッピング機械または装置;附属装置
27ラッピングキャリア
28平面の両面ラッピングのためのもの
B24B 37/34 2012.01
B処理操作;運輸
24研削;研磨
B研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
37ラッピング機械または装置;附属装置
34付属品
出願人
  • HOYA株式会社 HOYA CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • シーテープ ヴッチポン SRITEP, Wuttipong
  • クナリンチップ ヴォラヴット KUNALINTIP, Voravut
代理人
  • グローバル・アイピー東京特許業務法人 GLOBAL IP TOKYO
優先権情報
1-2019-0535530.09.2019VN
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SUBSTRATE POSITIONING ASSISTANCE JIG AND SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD
(FR) GABARIT D'AIDE AU POSITIONNEMENT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT
(JA) 基板配置支援治具及び基板の製造方法
要約
(EN)
This substrate positioning assistance jig comprises: a plate-shaped jig body provided with a plurality of standby holes in which substrates can be positioned so as to correspond to the positions of a plurality of substrate holding holes in a carrier; and claws which protrude from at least one site on the edge of the respective standby holes and contact and hold the outer peripheral end of a substrate. In a state where the claw is advanced and the substrates are held in the respective standby holes, the jig body is moved over the carrier and the claws are retracted to release and drop the substrates from the standby holes and position the substrates in the respective substrate holding holes of the carrier located below.
(FR)
L’invention concerne un gabarit d'aide au positionnement de substrat comprenant : un corps de gabarit tabulaire muni d'une pluralité de trous d'attente dans lesquels des substrats peuvent être positionnés de façon à correspondre aux positions d'une pluralité de trous de maintien de substrat dans un support ; et des griffes qui font saillie à partir d'au moins un emplacement sur le bord des trous d'attente respectifs et viennent en contact avec l'extrémité périphérique externe d'un substrat et la maintiennent. Dans un état où la griffe est avancée et les substrats sont maintenus dans les trous d'attente respectifs, le corps de gabarit est déplacé sur le support et les griffes sont rétractées pour libérer et lâcher les substrats des trous d'attente et positionner les substrats dans les trous de maintien de substrat respectifs du support situé au-dessous.
(JA)
基板配置支援治具は、前記キャリアの複数の前記基板保持孔の位置に対応して、基板を配置可能な複数の待機孔が設けられた板状の治具本体と、前記待機孔それぞれの縁の少なくとも1箇所には、前記縁から突出して、前記基板の外周端と接触して保持する爪部が設けられる。前記爪部を前進させて前記基板を前記待機孔それぞれに保持させた状態で、前記治具本体を前記キャリアの上部に移動して前記爪部を後退させることにより、前記基板を前記待機孔それぞれから開放して落下させて下方にある前記キャリアの前記基板保持孔のそれぞれに配置する。
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