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1. WO2021053824 - 荷電粒子線装置

公開番号 WO/2021/053824
公開日 25.03.2021
国際出願番号 PCT/JP2019/037065
国際出願日 20.09.2019
IPC
H01J 37/22 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
22管と関連した光学または写真装置
H01J 37/28 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28走査ビームを有するもの
CPC
H01J 37/22
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
H01J 37/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
28with scanning beams
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 白崎 保宏 SHIRASAKI Yasuhiro
  • 榊原 慎 SAKAKIBARA Makoto
  • 圓山 百代 ENYAMA Momoyo
  • 川野 源 KAWANO Hajime
  • 池上 明 IKEGAMI Akira
代理人
  • 特許業務法人藤央特許事務所 TOU-OU PATENT FIRM
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
要約
(EN)
This charged particle beam device includes a plurality of detectors that detect one or more signal charged particle beams caused by the irradiation of a sample by one or more primary charged particle beams. The charged particle beam device further includes a control system. The control system measures the intensity distribution of the one or more signal charged particle beams detected by the plurality of detectors. The control system uses a correction function to correct the intensity distribution and generates an image on the basis of the corrected intensity distribution.
(FR)
L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées comprenant une pluralité de détecteurs qui détectent un ou plusieurs faisceaux de particules chargées de signal provoqués par l'irradiation d'un échantillon par un ou plusieurs faisceaux de particules chargées primaires. Le dispositif à faisceau de particules chargées comprend en outre un système de commande. Le système de commande mesure la distribution d'intensité du ou des faisceaux de particules chargées de signal détectés par la pluralité de détecteurs. Le système de commande utilise une fonction de correction pour corriger la distribution d'intensité et génère une image sur la base de la distribution d'intensité corrigée.
(JA)
荷電粒子線装置は、試料に対する1以上の一次荷電粒子ビームの照射に起因する1以上の信号荷電粒子ビームを検出する、複数の検出器を含む。荷電粒子線装置はさらに、制御システムを含む。制御システムは、上記複数の検出器で検出された1以上の信号荷電粒子ビームの強度分布を測定する。制御システムは、補正関数を使用して上記強度分布を補正し、補正された上記強度分布に基づき画像を生成する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報