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1. WO2021044934 - 走査型プローブ顕微鏡及び走査型プローブ顕微鏡の駆動制御装置

公開番号 WO/2021/044934
公開日 11.03.2021
国際出願番号 PCT/JP2020/032335
国際出願日 27.08.2020
IPC
G01Q 10/06 2010.01
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
10走査または位置決め装置,すなわち,プローブの動きあるいは位置を積極的に制御するための装置
04微動走査または微動位置決め
06それらのための回路またはアルゴリズム
G01Q 60/24 2010.01
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
60特定の型のSPMまたはそのための装置;その基本的な構成部品
24AFMまたはそのための装置,例.AFM用のプローブ
CPC
G01Q 10/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
10Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
04Fine scanning or positioning
06Circuits or algorithms therefor
G01Q 60/24
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
60Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
24AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
出願人
  • 国立大学法人大阪大学 OSAKA UNIVERSITY [JP]/[JP]
発明者
  • 山下 隼人 YAMASHITA Hayato
  • 阿部 真之 ABE Masayuki
  • 折口 直紀 ORIGUCHI Naoki
代理人
  • 折坂 茂樹 ORISAKA Shigeki
優先権情報
2019-16239105.09.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE AND DRIVING CONTROL DEVICE FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE PILOTAGE DESTINÉ À UN MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡及び走査型プローブ顕微鏡の駆動制御装置
要約
(EN)
Provided are: a driving control circuit for scanning probe microscope which enables high-speed scanning without changing a driver; and a scanning probe microscope provided with the driving control circuit. The driving control circuit for the scanning probe microscope applies a driving signal to an actuator in accordance with the driving signal. This driving control circuit is characterized by outputting, as a driving signal, a signal obtained by adding a signal based on a displacement amount of the driver (e.g., a scanner, a cantilever, etc.) to a scanning signal corresponding to a desired displacement amount. The driving control circuit preferably outputs, as a driving signal, a signal obtained by adding, to the scanning signal, a signal proportional to the second order differential of the displacement amount of the driver.
(FR)
L'invention concerne : un circuit de commande de pilotage de microscope-sonde à balayage permettant un balayage à grande vitesse sans changement de pilote ; et un microscope-sonde à balayage comprenant le circuit de commande de pilotage. Le circuit de commande de pilotage du microscope-sonde à balayage applique un signal de pilotage à un actionneur en fonction du signal de pilotage. Ledit circuit de commande de pilotage est caractérisé en ce qu'il émet, en tant que signal de pilotage, un signal obtenu par l'ajout d'un signal en fonction d'une ampleur de déplacement du pilote (par exemple, un scanner, un porte-à-faux, etc.) à un signal de balayage correspondant à une quantité de déplacement souhaitée. Le circuit de commande de pilotage émet de préférence, en tant que signal de pilotage, un signal obtenu par l'ajout, au signal de balayage, d'un signal proportionnel au différentiel de second ordre de l'ampleur de déplacement du pilote.
(JA)
駆動体を変えずに高速走査を可能とする走査型プローブ顕微鏡用の駆動制御回路、及び当該駆動制御回路を備える走査型プローブ顕微鏡を提供する。 走査型プローブ顕微鏡用の駆動制御回路は、駆動信号に応じてアクチュエータに対し駆動信号を印加する。この駆動制御回路は、所望の変位量に対応する走査信号に、駆動体(例えば、スキャナ、カンチレバー等)の変位量に基づく信号を加算した信号を駆動信号として出力することを特徴とする。駆動制御回路は、走査信号に、駆動体の変位量の2階微分に比例する信号を加算した信号を駆動信号として出力するとよい。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報