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1. WO2021039517 - 荷重センサ素子及び荷重センサ素子の製造方法

公開番号 WO/2021/039517
公開日 04.03.2021
国際出願番号 PCT/JP2020/031209
国際出願日 19.08.2020
IPC
G01L 1/20 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
1力または応力の測定一般
20固体物質または導電性流体のオーム抵抗変化の測定によるもの;動電セル,すなわち応力の印加によって電圧が誘起または変化する含液セルを利用するもの
CPC
G01L 1/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
18using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
G01L 1/20
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
20by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids
出願人
  • KOA株式会社 KOA CORPORATION [JP]/[JP]
  • NTN株式会社 NTN CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 金子 誉 KANEKO, Homare
  • 塩原 菜摘 SHIOBARA, Natsumi
  • 浦野 幸一 URANO, Koichi
  • 澁谷 勇介 SHIBUYA, Yusuke
  • 近藤 大地 KONDOU, Daichi
代理人
  • 特許業務法人後藤特許事務所 GOTOH & PARTNERS
優先権情報
2019-15558928.08.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) LOAD SENSOR ELEMENT AND METHOD FOR PRODUCING LOAD SENSOR ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT CAPTEUR DE CHARGE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENT CAPTEUR DE CHARGE
(JA) 荷重センサ素子及び荷重センサ素子の製造方法
要約
(EN)
A load sensor element according to the present invention is provided with: a substrate which is formed of a ceramic material; a rectangular inorganic layer which has a pressure receiving surface that receives a load, and which is arranged so as to cover a covered part of one surface of the substrate; a thin film resistor, the resistance of which changes in accordance with the load received by the inorganic layer, and which comprises a main body part that is mounted on the covered part of the one surface of the substrate so as to be sandwiched between the substrate and the inorganic layer, and both end parts that are mounted on exposed parts of the one surface of the substrate, said exposed parts being not covered by the inorganic layer; and a pair of electrodes which are electrically connected to the both end parts of the thin film resistor so as to be at a distance from the inorganic layer, and which are arranged on one surface of the substrate.
(FR)
La présente invention concerne un élément capteur de charge comprenant : un substrat formé d'un matériau céramique ; une couche inorganique rectangulaire possédant une surface de réception de pression qui reçoit une charge, et qui est disposée de façon à recouvrir une partie recouverte d'une surface du substrat ; une résistance à couche mince, dont la résistance change en fonction de la charge reçue par la couche inorganique, et qui comprend une partie corps principal montée sur la partie recouverte de la première surface du substrat de manière à être prise en sandwich entre le substrat et la couche inorganique, et les deux parties d'extrémité qui sont montées sur des parties découvertes de la première surface du substrat, lesdites parties découvertes n'étant pas recouvertes par la couche inorganique ; et une paire d'électrodes électriquement connectées aux deux parties d'extrémité de la résistance à couche mince de manière à être situées à une certaine distance de la couche inorganique, et disposées sur une surface du substrat.
(JA)
荷重センサ素子は、セラミック材料からなる基板と、荷重を受ける受圧面を有し、基板の片面の被覆部を被覆するように設けられる矩形状の無機層と、無機層が受ける荷重に応じて抵抗値が変化する抵抗体であって、基板と無機層との間に挟まれるように基板の片面の被覆部に載置される本体部と、無機層により被覆されていない基板の片面の露出部に載置される両端部と、を有する薄膜抵抗体と、無機層から離間するように薄膜抵抗体の両端部と電気的に接続され、基板の一方の側に設けられる一対の電極と、を備える。
他の公開
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