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1. WO2021039038 - 弾性波装置

公開番号 WO/2021/039038
公開日 04.03.2021
国際出願番号 PCT/JP2020/023596
国際出願日 16.06.2020
IPC
H03H 9/145 2006.01
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
02細部
125駆動手段,例.電極,コイル
145弾性表面波を用いる回路網のためのもの
H03H 9/25 2006.01
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
25弾性表面波を使用する共振器の構造上の特徴
CPC
H03H 9/145
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
125Driving means, e.g. electrodes, coils
145for networks using surface acoustic waves
H03H 9/25
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
25Constructional features of resonators using surface acoustic waves
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 大門 克也 DAIMON, Katsuya
  • 谷口 康政 TANIGUCHI, Yasumasa
  • 山本 浩司 YAMAMOTO, Koji
代理人
  • 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所 MIYAZAKI & METSUGI
優先権情報
2019-15689029.08.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ELASTIC WAVE DEVICE
(FR) DISPOSITIF À ONDES ÉLASTIQUES
(JA) 弾性波装置
要約
(EN)
Provided is an elastic wave device that can increase power resistance and is unlikely to have electrode damage caused by instantaneous application of power. The elastic wave device 1 comprises a piezoelectric substrate 2 and an IDT electrode 7 provided on the piezoelectric substrate 2. The IDT electrode 7 has a plurality of first and second electrode fingers 18, 19. When an elastic wave propagation direction is a first direction x and a direction that intersects the first direction x is a second direction y, a crossover area A in the IDT electrode 7 has: a central area B positioned in the center of the second direction y; and first and second edge areas C1, C2 arranged on both sides of the central area B in the second direction y. In the central area B, the first and second electrode fingers 18, 19 include an epitaxially grown alignment film. In the first edge area C1 and the second edge area C2, the first electrode finger 18 and the second electrode finger 19 have a section that does not include the alignment film.
(FR)
L'invention concerne un dispositif à ondes élastiques qui permet d'augmenter la résistance de puissance, dont l'électrode n'est pas susceptible de subir des dommages causés par l'application instantanée d'une puissance. Le dispositif à ondes élastiques (1) comprend un substrat piézoélectrique (2) et une électrode IDT (7) formée sur le substrat piézoélectrique (2). L'électrode IDT (7) possède une pluralité de premier et second doigts d'électrode (18, 19). Lorsqu'une direction de propagation d'onde élastique est une première direction x et une direction qui croise la première direction x est une seconde direction y, une zone de croisement A dans l'électrode IDT (7) comprend : une zone centrale B positionnée au centre de la seconde direction y ; et des première et seconde zones de bord C1, C2 disposées de part et d'autre de la zone centrale B dans la seconde direction y. Dans la zone centrale B, les premier et second doigts d'électrode (18, 19) comprennent un film d'alignement à croissance épitaxiale. Dans la première zone de bord C1 et la seconde zone de bord C2, le premier doigt d'électrode (18) et le second doigt d'électrode (19) ont une section qui ne comprend pas le film d'alignement.
(JA)
耐電力性を高めることができ、かつ瞬間的な電力の印加による電極破壊が生じ難い、弾性波装置を提供する。 弾性波装置1は、圧電性基板2と、圧電性基板2上に設けられているIDT電極7とを備える。IDT電極7は複数の第1,第2の電極指18,19を有する。弾性波伝搬方向を第1の方向xとし、第1の方向xに直交する方向を第2の方向yとしたときに、IDT電極7の交叉領域Aは、第2の方向yにおける中央側に位置している中央領域Bと、中央領域Bの第2の方向yにおける両側に配置されている第1,第2のエッジ領域C,Cとを有する。中央領域Bにおいて、第1,第2の電極指18,19がエピタキシャル成長した配向膜を含み、第1のエッジ領域C及び第2のエッジ領域Cにおいて、第1の電極指18及び第2の電極指19が、上記配向膜を含まない部分を有する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報