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1. WO2021033759 - 真空紫外光の発生方法及びそれに用いる装置

公開番号 WO/2021/033759
公開日 25.02.2021
国際出願番号 PCT/JP2020/031549
国際出願日 21.08.2020
IPC
G02F 1/355 2006.01
G物理学
02光学
F光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
35非線型光学
355使用物質に特徴があるもの
G02F 1/37 2006.01
G物理学
02光学
F光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
35非線型光学
37二次高調波発振のためのもの
CPC
G02F 1/355
GPHYSICS
02OPTICS
FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
1Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
35Non-linear optics
355characterised by the materials used
G02F 1/37
GPHYSICS
02OPTICS
FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
1Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
35Non-linear optics
37for second-harmonic generation
出願人
  • 国立大学法人東京大学 THE UNIVERSITY OF TOKYO [JP]/[JP]
発明者
  • 小西 邦昭 KONISHI Kuniaki
  • 五神 真 GONOKAMI Makoto
  • 湯本 潤司 YUMOTO Junji
  • 石田 誠 ISHIDA Makoto
  • 赤井 大輔 AKAI Daisuke
代理人
  • 成瀬 重雄 NARUSE Shigeo
優先権情報
2019-15080021.08.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) VACUUM ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION METHOD AND DEVICE USING SAME METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE SOUS VIDE ET DISPOSITIF UTILISANT LEDIT PROCÉDÉ
(JA) 真空紫外光の発生方法及びそれに用いる装置
要約
(EN)
The present invention pertains to a technique enabling generation of vacuum ultraviolet light with a simple mechanism. In addition, the present invention pertains to a technique enabling extension of the wavelength band of vacuum ultraviolet light which can be generated. In a method according to the present invention, the front surface of a thin film-like dielectric body 2 having at least the rear surface side exposed to vacuum is irradiated with an excitation laser beam 11 having a wavelength allowing transmission through the dielectric body 2. Accordingly, vacuum ultraviolet light as an N-th harmonic wave can be generated in the rear surface direction of the dielectric body 2, through irradiation with the excitation laser beam 11. Note that N≥2 is satisfied.
(FR)
La présente invention concerne une technique permettant la génération d’une lumière ultraviolette sous vide avec un mécanisme simple. De plus, la présente invention concerne une technique permettant une extension de la bande de longueurs d’onde de la lumière ultraviolette sous vide qui peut être générée. Dans un procédé selon la présente invention, la surface frontale d’un corps diélectrique 2 de type film mince dont au moins le côté de surface arrière est exposé au vide est irradiée avec un faisceau laser d’excitation 11 ayant une longueur d’onde permettant une transmission à travers le corps diélectrique 2. Par conséquent, une lumière ultraviolette sous vide en tant que Nième onde harmonique peut être générée dans la direction de la surface arrière du corps diélectrique 2, par irradiation avec le faisceau laser d’excitation 11. Il est à noter que la relation N ≥ 2 est satisfaite.
(JA)
本発明は、簡易な機構により真空紫外光を生成することができる技術に関する。また、本発明は、生成可能な真空紫外光の波長帯域を広げることができる技術に関する。本発明の方法では、少なくとも裏面側が真空中に露出された薄膜状の誘電体2の表面に向けて、誘電体2を透過可能な波長を有する励起レーザ光11を照射する。励起レーザ光11の照射によるN次高調波として、真空紫外光を、誘電体2の裏面方向に向けて発生させることができる。ただし、ここでN≧2である。
他の公開
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