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1. WO2020262593 - 外観検査装置及び外観検査方法

公開番号 WO/2020/262593
公開日 30.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/025163
国際出願日 26.06.2020
IPC
G01N 21/84 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
G01N 21/88 2006.1
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
CPC
G01N 21/84
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
G01N 21/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
出願人
  • 日本電産株式会社 NIDEC CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 柴田 恵司 SHIBATA, Keiji
優先権情報
2019-12211528.06.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) APPEARANCE INSPECTION APPARATUS AND APPEARANCE INSPECTION METHOD
(FR) APPAREIL D’INSPECTION D’ASPECT ET PROCÉDÉ D’INSPECTION D’ASPECT
(JA) 外観検査装置及び外観検査方法
要約
(EN) An appearance inspection apparatus performs appearance inspection using image data obtained by capturing an image of an inspection subject M. The appearance inspection apparatus comprises: two light-emitting units for emitting light toward the inspection subject; and an imaging unit for capturing an image of an inspection region of the inspection subject, which is a region irradiated with the light emitted by the two light-emitting units. The two light-emitting units are located in positions that at least partially overlap each other in an optical axis direction of the imaging unit when viewed in a direction perpendicular to the optical axis direction and that are different in distance from the optical axis of the imaging unit when viewed in the optical axis direction.
(FR) La présente invention concerne un appareil d’inspection d’aspect qui effectue une inspection d’aspect au moyen de données d’image obtenues par capture d’une image d’un sujet d’inspection M. L’appareil d’inspection d’aspect comprend : deux unités électroluminescentes pour émettre de la lumière vers le sujet d’inspection ; et une unité d’imagerie pour capturer une image d’une région d’inspection du sujet d’inspection, qui est une région irradiée avec la lumière émise par les deux unités électroluminescentes. Les deux unités électroluminescentes sont situées dans des positions qui se chevauchent au moins partiellement dans une direction de l’axe optique de l’unité d’imagerie lorsqu’elles sont observées dans une direction perpendiculaire à la direction de l’axe optique et qui sont différentes en termes de distance par rapport à l’axe optique de l’unité d’imagerie lorsqu’elles sont observées dans la direction de l’axe optique.
(JA) 外観検査装置は、検査対象物Mを撮像して得られた画像データを用いて外観検査を行う外観検査装置である。外観検査装置は、検査対象物に向かって光を出射する2つの光出射部と、検査対象物において2つの光出射部によって光が照射される検査領域を撮像する撮像部と、を備える。2つの光出射部は、撮像部の光軸方向に対して直交する方向に見て少なくとも一部が光軸方向に重なる位置で且つ光軸方向に見て撮像部の光軸からの距離が異なる位置に位置する。
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JP2020571866This application is not viewable in PATENTSCOPE because the national phase entry has not been published yet or the national entry is issued from a country that does not share data with WIPO or there is a formatting issue or an unavailability of the application.
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