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1. WO2020262145 - 基板搬送ロボット及び基板搬送ロボットの制御方法

公開番号 WO/2020/262145
公開日 30.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/023765
国際出願日 17.06.2020
IPC
H01L 21/677 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
CPC
B25J 13/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
13Controls for manipulators
H01L 21/677
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
出願人
  • 川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP]
発明者
  • 吉田 浩之 YOSHIDA, Hiroyuki
  • 山田 幸政 YAMADA, Yukimasa
  • 北野 真也 KITANO, Shinya
代理人
  • 特許業務法人 有古特許事務所 ARCO PATENT & TRADEMARK ATTORNEYS
優先権情報
2019-12150828.06.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SUBSTRATE TRANSPORT ROBOT AND CONTROL METHOD FOR SUBSTRATE TRANSPORT ROBOT
(FR) ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE COMMANDE POUR ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送ロボット及び基板搬送ロボットの制御方法
要約
(EN) A robot control unit (41) for this substrate transport robot performs operation restriction control when a substrate is placed on a substrate placement part (12a), and the operation restriction control is a control for moving a hand according to an operation plan that restricts a hand movement that includes at least any one among a horizontal speed component exceeding a predetermined second threshold (L2) and a acceleration component exceeding a predetermined third threshold in a restriction target interval (A) in which the hand (12) is moved so as to have an acceleration component in the vertical direction exceeding a predetermined first threshold (L1).
(FR) La présente invention concerne une unité de commande de robot (41) pour ce robot de transport de substrat qui réalise une commande de restriction d'opération lorsqu'un substrat est placé sur une partie de placement de substrat (12a), et la commande de restriction d'opération est une commande destinée à déplacer une main selon un plan d'opération qui limite un mouvement de la main qui comprend au moins l'une quelconque parmi une composante de vitesse horizontale dépassant un deuxième seuil prédéterminé (L2) et une composante d'accélération dépassant un troisième seuil prédéterminé dans un intervalle cible de restriction (A) dans lequel la main (12) est déplacée de sorte qu'une composante d'accélération dans la direction verticale dépasse un premier seuil prédéterminé (L1).
(JA) 基板搬送ロボットのロボット制御部(41)は、基板載置部(12a)に基板が載置されているときは動作規制制御を行い、動作規制制御は、所定の第1閾値(L1)を超える鉛直方向の加速度成分を有するようにハンド(12)を移動させる規制対象区間(A)において所定の第2閾値(L2)を超える水平方向の速度成分及び所定の第3閾値を超える加速度成分の少なくとも何れか一方を含むハンドの移動を規制する動作計画に沿ってハンドを移動させる制御である。
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