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1. WO2020262111 - 塗布装置、薄膜製造方法及び有機電子デバイスの製造方法

公開番号 WO/2020/262111
公開日 30.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/023582
国際出願日 16.06.2020
IPC
B05C 11/00 2006.1
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
C液体または他の流動性材料を表面に適用する装置一般
11グループB05C1/00からB05C9/00までに特に分類されない構成部品,細部または付属品
B05D 3/00 2006.1
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
D液体または他の流動性材料を表面に適用する方法一般
3液体または他の流動性材料を適用する表面の前処理;適用されたコーティングの後処理,例.液体または他の流動性材料を続いて適用することに先だってなされるすでに適用されたコーティングの中間処理
B05C 5/00 2006.1
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
C液体または他の流動性材料を表面に適用する装置一般
5液体または他の流動性材料が被加工物の表面上に射出,注出あるいは流下されるようにした装置
H05B 33/10 2006.1
H電気
05他に分類されない電気技術
B電気加熱;他に分類されない電気照明
33エレクトロルミネッセンス光源
10エレクトロルミネッセンス光源の製造に特に適用する装置または方法
H01L 51/50 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
CPC
B05C 11/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
11Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
B05C 5/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
5Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
B05D 3/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
3Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
H01L 51/50
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
51Solid state devices using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of such devices, or of parts thereof
50specially adapted for light emission, e.g. organic light emitting diodes [OLED] or polymer light emitting devices [PLED]
H05B 33/10
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
33Electroluminescent light sources
10Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
出願人
  • 住友化学株式会社 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED [JP]/[JP]
発明者
  • 森島 進一 MORISHIMA, Shinichi
  • 井上 裕康 INOUE, Hiroyasu
  • 野田 基央 NODA, Motoo
  • 下河原 匡哉 SHIMOGAWARA, Masaya
代理人
  • 中山 亨 NAKAYAMA, Tohru
  • 坂元 徹 SAKAMOTO, Toru
優先権情報
2019-11887326.06.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) COATING DEVICE, THIN FILM MANUFACTURING METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING ORGANIC ELECTRONIC DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE REVÊTEMENT, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILM MINCE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE ORGANIQUE
(JA) 塗布装置、薄膜製造方法及び有機電子デバイスの製造方法
要約
(EN) Provided are: a coating device that can form a liquid film in a desired formation state for coating areas discretely arranged in a predetermined pattern; a thin film manufacturing method using the coating device; and a method of manufacturing an organic electronic device using the thin film manufacturing method. A coating device according to an embodiment comprises: a transport mechanism 26 that transports a base substrate 20 in a first direction; a coater 28 that applies a coating liquid onto each of a plurality of coating areas B discretely set in a predetermined pattern within a predetermined area A of the base substrate while continuously transporting the base substrate by means of the transport mechanism; and a first position information acquisition device 30 that acquires first position information along a second direction intersecting the first direction in at least a predetermined area while transporting the base substrate in the first direction by means of the transport mechanism, the first position information including position information on a liquid film surface in the thickness direction of the base substrate on which a liquid film 50 is formed by the coating liquid.
(FR) La présente invention concerne : un dispositif de revêtement qui peut former un film liquide dans un état de formation souhaité pour des zones de revêtement agencées de manière distincte selon un motif prédéfini ; un procédé de fabrication de film mince utilisant le dispositif de revêtement ; et un procédé de fabrication d'un dispositif électronique organique utilisant le procédé de fabrication de film mince. Un dispositif de revêtement selon un mode de réalisation comprend : un mécanisme de transport (26) qui transporte un substrat de base (20) dans une première direction ; une enduiseuse (28) qui applique un liquide de revêtement sur chacune d'une pluralité de zones de revêtement B définies de façon distincte dans un motif prédéfini à l'intérieur d'une zone prédéfinie A du substrat de base tout en transportant en continu le substrat de base au moyen du mécanisme de transport ; et un premier dispositif d'acquisition d'informations de position (30) qui acquiert des premières informations de position le long d'une seconde direction croisant la première direction dans au moins une zone prédéfinie tout en transportant le substrat de base dans la première direction au moyen du mécanisme de transport, les premières informations de position comprenant des informations de position sur une surface de film liquide dans la direction de l'épaisseur du substrat de base sur laquelle un film liquide (50) est formé par le liquide de revêtement.
(JA) 所定パターンで離散的に配置される塗布エリアに対して所望の形成状態で液膜を形成可能な塗布装置、その塗布装置を用いた薄膜製造方法及び上記薄膜製造方法を利用した有機電子デバイスの製造方法を提供する。 一実施形態に係る塗布装置は、下地基板20を第1方向に搬送する搬送機構26と、搬送機構で下地基板を連続的に搬送しながら、下地基板の所定エリアA内において所定パターンで離散的に設定される複数の塗布エリアBそれぞれの上に塗布液を塗布する塗布器28と、塗布液により液膜50が形成された下地基板の厚さ方向における液膜表面の位置情報を含む第1位置情報を、搬送機構で下地基板を第1方向に搬送しながら、少なくとも所定エリアにおいて第1方向に交差する第2方向に沿って取得する第1位置情報取得装置30と、を備える。
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