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1. WO2020250841 - 真空バルブ及び真空バルブに用いられるアクチュエータ

公開番号 WO/2020/250841
公開日 17.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/022412
国際出願日 05.06.2020
予備審査請求日 12.04.2021
IPC
F16K 31/04 2006.1
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
31操作手段;釈放装置
02電気;磁気
04電動機使用
F16K 49/00 2006.1
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
49弁内または弁上に取り付ける加熱用または冷却用の手段
F16K 51/02 2006.1
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
51弁などの締め切り装置の特別な形に特有でないその他の細部
02高真空装置に特に適用されたもの
CPC
F16K 31/04
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
31Actuating devices;; Operating means; Releasing devices
02electric
04using a motor
F16K 49/00
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
49Means in or on valves for heating or cooling
F16K 51/02
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
51Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
02specially adapted for high-vacuum installations
出願人
  • 住友重機械工業株式会社 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • バイヤーズ エマニュエル VYERS Emmanuel
代理人
  • 森下 賢樹 MORISHITA Sakaki
優先権情報
2019-10940012.06.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) VACUUM VALVE AND ACTUATOR USED IN VACUUM VALVE
(FR) SOUPAPE À DÉPRESSION ET ACTIONNEUR UTILISÉ DANS UNE SOUPAPE À DÉPRESSION
(JA) 真空バルブ及び真空バルブに用いられるアクチュエータ
要約
(EN) A vacuum valve characterized by being equipped with a valve plate and an actuator 12 for driving the valve plate, the actuator 12 being equipped with: a shaft 16 coupled to the valve plate; drive units arranged side by side in the radial direction of the shaft 16, and provided with a ball screw shaft 24 and a motor 26 for rotating the ball screw shaft 24; and a coupling unit 28 for coupling the ball screw shafts 24 and the shaft 16.
(FR) L'invention concerne une soupape à dépression caractérisée en ce qu'elle est dotée d'une plaque porte-soupape et d'un actionneur 12 servant à entraîner la plaque porte-soupape, l'actionneur 12 étant doté : d'un arbre 16 accouplé à la plaque porte-soupape ; d'unités d'entraînement disposées côte à côte dans la direction radiale de l'arbre 16, et comportant un arbre à vis à billes 24 et un moteur 26 destiné à faire tourner l'arbre à vis à billes 24 ; et une unité d'accouplement 28 destinée à accoupler les arbres à vis à billes 24 et l'arbre 16.
(JA) 真空バルブは、バルブプレートと、当該バルブプレートを駆動させるアクチュエータ12とを備え、アクチュエータ12は、バルブプレートに連結されるシャフト16と、シャフト16の径方向に並んで配置され、ボールねじ軸24及びボールねじ軸24を回転させるモータ26を備える駆動ユニットと、ボールねじ軸24とシャフト16を連結する連結部28と、を備えていることを特徴とする。
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