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1. WO2020250783 - 組成物、基板の製造方法及び重合体

公開番号 WO/2020/250783
公開日 17.12.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/021991
国際出願日 03.06.2020
IPC
C08L 101/02 2006.1
C化学;冶金
08有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
L高分子化合物の組成物
101不特定の高分子化合物の組成物
02特定の基の存在に特徴のあるもの
C08F 8/48 2006.1
C化学;冶金
08有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
F炭素-炭素不飽和結合のみが関与する反応によってえられる高分子化合物
8後処理による化学的変性
48異性化;環化
C23C 26/00 2006.1
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
26グループC23C2/00~C23C24/00に分類されない被覆
CPC
C08F 8/48
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
8Chemical modification by after-treatment
48Isomerisation; Cyclisation
C08L 101/02
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
101Compositions of unspecified macromolecular compounds
02characterised by the presence of specified groups ; , e.g. terminal or pendant functional groups
C23C 26/00
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
26Coating not provided for in groups C23C2/00 - C23C24/00
出願人
  • JSR株式会社 JSR CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 小松 裕之 KOMATSU Hiroyuki
  • 白谷 宗大 SHIRATANI Motohiro
  • 酒井 達也 SAKAI Tatsuya
代理人
  • 天野 一規 AMANO Kazunori
優先権情報
2019-10815610.06.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) COMPOSITION, METHOD FOR PRODUCING SUBSTRATE, AND POLYMER
(FR) COMPOSITION, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE SUBSTRAT ET POLYMÈRE
(JA) 組成物、基板の製造方法及び重合体
要約
(EN) The objective of the present invention is to provide: a composition by which a film having excellent heat resistance and being wet peelable, can be region-selectively formed on the surface of a base material containing a metal atom on the surface layer thereof, and in which, by means of said film, high blocking performance against metal oxide formation in accordance with the ALD method or the CVD method, can be exhibited; a method for producing substrate; and a polymer. The present invention is a composition which is used for chemically modifying the surface of a base material containing a metal atom in the surface layer thereof, wherein the composition contains a polymer having a structural unit including a ring structure and a functional group bonded to the metal atom, and a solvent, and the atomic chain constituting the ring structure constitutes a portion of a main chain of the polymer.
(FR) L'objectif de la présente invention est de fournir : une composition par l'intermédiaire de laquelle il est possible de former, de manière sélective en fonction de la région, un film présentant une excellente résistance à la chaleur et étant pelable par voie humide, sur la surface d'un matériau de base contenant un atome métallique sur sa couche de surface, et dans lequel, au moyen dudit film, il est possible d'obtenir une performance de blocage élevée contre la formation d'un oxyde métallique selon le procédé ALD ou le procédé CVD ; un procédé de production de substrat ; et un polymère. La présente invention concerne une composition qui est utilisée pour modifier chimiquement la surface d'un matériau de base contenant un atome métallique dans sa couche de surface, la composition contenant un polymère comprenant un motif structurel incluant une structure cyclique et un groupe fonctionnel lié à l'atome métallique, et un solvant, et la chaîne atomique constituant la structure cyclique représentant une partie d'une chaîne principale du polymère.
(JA) 表層に金属原子を含む基材の表面に領域選択的に、耐熱性に優れかつwet剥離可能な膜を形成することができ、この膜によってALD法又はCVD法による金属オキサイド形成に対する高いブロッキング性能を発揮することができる組成物、基板の製造方法及び重合体の提供を目的とする。本発明は、表層に金属原子を含む基材の表面の化学修飾に用いられる組成物であって、環構造を含む構造単位及び上記金属原子と結合する官能基を有する重合体と、溶媒とを含有し、上記環構造を構成する原子鎖が上記重合体の主鎖の一部を構成する組成物である。
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